µðÁöÅПÀÓ½º

 


[ÄÚ½º´Ú ¿¤¸®Æ®] Å×½º, ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀü¹®¼­ `³ì»ö±â¾÷`´ëº¯½Å

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
PECVD ±¹»êÈ­ ¼±µµ¡¦ ½Ä°¢Àåºñ °³¹ßµµ ¹ÚÂ÷
žçÀüÁö ÀåºñºÐ¾ß ½Å¼ºÀ嵿·Â ºÎ»ó ¿ø³â ±â´ë



¹ÝµµÃ¼ ¹× žçÀüÁö Àåºñ Á¦Á¶ Àü¹®¾÷ü Å×½º(´ëÇ¥ ÁÖ¼þÀÏ)´Â ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ½ÃÀå¿¡¼­ µ¶ÀÚÀûÀÎ ±¹»ê ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ°³¹ßÀ» ¸ñÇ¥·Î 2002³â ¼³¸³µÈ ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ Àü¹® Á¦Á¶¾÷ü´Ù.

¿ÃÇØ·Î ¼³¸³ 8³âÀ» ¸Â´Â Å×½º´Â ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¾÷ü¿¡¼­ ¿À·£ °æÇèÀ» ½×¾Æ¿Â ¿ì¼ö ¿¬±¸ÀηÂÀÌ ¸ð¿© Àåºñ ±¹»êÈ­¸¦ ÀÌ·ï°¡´Âµ¥ ³ë·ÂÇÏ°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ Àåºñ ±¹»êÈ­À²ÀÌ ³·Àº ¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ ºÐ¾ß¿¡¼­ ÁÖ¿ä Àåºñ °¡¿îµ¥ ÇϳªÀÎ ÇöóÁȭÇÐÁõÂøÀåºñ(PECVD)ÀÇ ±¹»êÈ­¸¦ ¼±µµÇÏ°í, ¶Ç ´Ù¸¥ ÇÙ½É Àü°øÁ¤ ÀåºñÀÎ ½Ä°¢(¿¡Äª)Àåºñ °³¹ß¿¡ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Å×½º(TES)¶ó´Â ȸ»ç¸íÀº ¹Ì·¡ °úÇÐ ±â¼úÀÇ ¼ºÀ嵿·ÂÀÌ µÅ ¼¼°è¸¦ ¼±µµÇÏ°Ú´Ù´Â `Technology Engine of Science'ÀÇ ¾àÀÚ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Àǹ̸¦ »ì·Á ȸ»ç´Â 2³â ÀüºÎÅÍ ½Å¼ºÀå µ¿·Â È®º¸¸¦ À§ÇØ Å¾çÀüÁö Àåºñ»ç¾÷ ÁøÃâÀ» °á½ÉÇÏ°í ³ì»ö±â¾÷À¸·ÎÀÇ º¯È­¸¦ ½ÃµµÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Å×½º´Â 2002³â ¼³¸³ ´ç½Ã `Àåºñ Àç»ý(Regeneration)'À̶ó´Â »õ·Î¿î ½ÃÀåÀ» ¸¸µé°í µµÀüÇØ Å« ¼º°ú¸¦ °Åµ×´Ù. Àåºñ Àç»ýÀº ¹Ì¼¼ °øÁ¤À¸·Î ÁøÈ­ÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡¼­ ³ëÈÄ Àåºñ¸¦ ÃֽŠ¾ç»ê °øÁ¤¿¡ ¸Â°Ô °³Á¶ÇØ Å»¹Ù²Þ½ÃÅ°´Â »ç¾÷À¸·Î, ÇÏÀ̴нº Àåºñ°³¹ß ºÎ¼­ Ãâ½ÅÀÇ Ã¢¾÷ ¸â¹öµéÀÌ ´Ù³â°£ ½×Àº °³¹ß ³ëÇÏ¿ì·Î °¡´ÉÇÑ »ç¾÷À̾ú´Ù. ±¹³»¿¡¼­´Â Å×½º°¡ âÃâÇÑ Æ´»õ½ÃÀåÀ̾úÁö¸¸ ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ ¾÷ü¿¡°Ô´Â Å« ¿ø°¡Àý°¨ È¿°ú¸¦ ¾È°ÜÁà ȸ»ç ¼ºÀåÀÇ ¹ßÆÇÀ¸·Î ÀÛ¿ëÇß´Ù.

Å×½º´Â Àåºñ Àç»ý »ç¾÷¿¡¼­ Å͵æÇÑ ±â¼ú°ú ³ëÇϿ츦 ¹ÙÅÁÀ¸·Î ¹ÝµµÃ¼ ÇÙ½ÉÀåºñÁß ÇϳªÀÎ PECVDÀÇ ±¹»êÈ­¿¡ ¸ÅÁøÇØ 2005³â 300§® ¶óÀοë PECVDÀÎ ÅÚ¸®¾Æ(TELIA)300ÀÇ °³¹ß°ú ¾ç»ê¿¡ ¼º°øÇß´Ù. ¶Ç 2007³â¿¡´Â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î 300§®¶óÀÎ¿ë ºñÁ¤Áú ź¼Ò¹Ú¸·(ACL) PECVDÀÇ °³¹ß¿¡ ¼º°øÇÏ°í ±¹³» ¼ÒÀÚ¾÷üÀÇ ¾ç»ê¶óÀο¡ Àû¿ë½ÃÅ°´Â °³°¡¸¦ ¿Ã·È´Ù. ƯÈ÷ 300§® ¿þÀÌÆÛ¿ë PECVD ACLÀåºñ´Â ¿Ü»êÀåºñ°¡ µ¶Á¡ÇÏ°í ÀÖ´ø »óȲ¿¡¼­ ¼öÀÔ´ëüȿ°ú´Â ¹°·Ð ±¹³» ¼ÒÀÚ ¾÷üÀÇ ¿ø°¡Àý°¨¿¡ ±â¿©Çß´Ù. Å×½º´Â Àåºñ Á¦Ç° ´Ùº¯È­¸¦ ÅëÇÑ ¼ºÀ嵿·Â È®º¸¸¦ À§ÇØ PECVD¿Ü¿¡µµ Àü°øÁ¤ ÇÙ½É ÀåºñÀÎ ½Ä°¢ Àåºñ¿Í ¼¼Á¤ ÀåºñÀÇ °³¹ß¿¡µµ ¹ÚÂ÷¸¦ °¡ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÇöÀç ¼¼Á¤Àåºñ´Â Áö³­ÇغÎÅÍ °í°´»ç ¾ç»ê¶óÀο¡¼­ Á¦Ç° °ËÁõÀ» ¹Þ°í ÀÖÀ¸¸ç, ½Ä°¢ Àåºñµµ Á¶¸¸°£ °ËÁõ´Ü°è¿¡ µé¾î¼³ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.


»ç¾÷ ÃÊâ±âºÎÅÍ ÇØ¿ÜÁøÃâÀ» Àû±Ø ½ÃµµÇØ ¿Â Å×½º´Â ±â¼ú °æÀï·Â°ú Àåºñ ±¹»êÈ­ ¼º°ú¿Í ¸Â¹°·Á ÇØ¿Ü°í°´ ´Ùº¯È­¶ó´Â ¼º°ú¸¦ °Åµ×À¸¸ç, ÇöÀç´Â Áß±¹, ´ë¸¸, ½Ì°¡Æú, ÀϺ», ¹Ì±¹ µî ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê±¹ ¿¡¼­ ¸ÅÃâÀ» ¿Ã¸®°í ÀÖ´Ù. ¿ÃÇØ¿¡´Â ÇØ¿Ü ¸¶ÄÉÆà °ÅÁ¡À» È®º¸ÇØ ±¹»ê ¹ÝµµÃ¼ ¹× žçÀüÁö ÀåºñÀÇ ¼¼°èÈ­¿¡ ¿ª·®À» ÁýÁßÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
Å×½º´Â 160¿©¾ï¿øÀÇ ¿µ¾÷ÀÍÀ» ±â·ÏÇϸç ÃÖ´ë ¼º°ú¸¦ °ÅµÐ 2007³â »õ·Î¿î ¼ºÀå µ¿·Â È®º¸¸¦ À§ÇØ ½Å±Ô»ç¾÷À» ¸ð»öÇϱ⠽ÃÀÛÇß´Ù. ¿©·¯ »ç¾÷ºÐ¾ß °¡¿îµ¥ ±âÁ¸»ç¾÷°ú ¿¬°ü¼ºÀÌ ³ô°í Àúź¼Ò ³ì»ö¼ºÀå »ê¾÷ÀÇ ÇÙ½ÉÀ¸·Î ºÎ°¢µÉ žçÀüÁö Àåºñ »ç¾÷ ÁøÃâÀ» °áÁ¤ÇÏ°í ÇöÀç±îÁöÅõÀÚ¿Í ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÁøÇàÇÏ°í ÀÖ´Ù. ȸ»ç´Â Áö³­ÇØ 12¿ù º»»ç°¡ À§Ä¡ÇÑ ¿ëÀο¡ 50§Ó(¸Þ°¡¿ÍÆ®)±Þ žçÀüÁö ½ÃÇè»ý»ê ¶óÀÎÀ» ±¸ÃàÇß´Ù.

ÀÚü ±â¼ú·Î ½Ç¸®ÄÜ ¹Ú¸· žçÀüÁö ¿¬±¸°³¹ß¿ë Àåºñ °³¹ßÀ» ¸¶Ä¡°í ¿µ¾÷ È°µ¿À» ¹úÀÌ°í ÀÖÀ¸¸ç, ±¹Ã¥°úÁ¦¿Í ¿¬°èÇØ °íÈ¿À² ´ë¸éÀû ÀûÃþ ½Ç¸®ÄÜ ¹Ú¸· žçÀüÁö¿ë PECVDÀÇ °³¹ßµµ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù. ¶Ç ÀÌ¿Í º°µµ·Î ÁõÂøÀåºñÀÇ ÇÙ½É ¿øÀç·áÀÎ ÇöóÁ ¼Ò½º¸¦ °íÀ¯ ±â¼ú·Î °³¹ßÇØ ÇöÀç´Â ÃÖÁ¾ °ËÁõ ´Ü°è¿¡ ÀÖ´Ù.

Å×½º´Â ÀÚüÀûÀÎ ¿¬±¸°³¹ß»Ó ¾Æ´Ï¶ó È¿À²ÀûÀÎ ¿¬±¸¼öÇàÀ» À§ÇØ ±¹Ã¥°úÁ¦ÀÎ ½ÅÀç»ý¿¡³ÊÁö ±â¼ú°³¹ß»ç¾÷¿¡ Âü¿©ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÃÖ±Ù¿¡´Â Áß¼Ò±â¾÷ûÀÌ ÁÖ°üÇÏ´Â ¼±µµÇü±â¼ú°³¹ß»ç¾÷ ÁÖ°ü¾÷ü·Î ¼±Á¤µÇ´Â µî ±â¼ú·Â°ú °³¹ß´É·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ°í ÀÖ´Ù. ȸ»çÃøÀº ¿ÃÇØ°¡ ½Å±Ô»ç¾÷À¸·Î ÃßÁøÇؿ žçÀüÁö Àåºñ»ç¾÷ÀÌ ¼º°ú¸¦ ³»¸ç »õ·Î¿î ¼ºÀ嵿·ÂÀ¸·Î ºÎ»óÇÏ´Â ¿ø³âÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.

Å×½º´Â ÀÓÁ÷¿øÀÇ ³ëÇÏ¿ì¿Í È­ÇÕÀ» ÅëÇÑ °æÀï·ÂÀ» ÅëÇØ ¹ÝµµÃ¼ ¹× žçÀüÁö Àåºñ ±¹»êÈ­ ¿Í Àû±ØÀûÀÎ ÇØ¿ÜÁøÃâ¿¡ ¸ÅÁøÇÏ°í 2010³â ¸ÅÃâ 2000¾ï¿øÀ» ³Ñ°Ú´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.

±è¿µÀº±âÀÚ link@