현재 국내외 300㎜ 양산라인서 운영
테스가 개발한 `첼린져(CHALLENGER)300'. 웨이퍼 표면에 비정질 탄소 박막(ACL)을 형성하고 증착시키는 장비로 ACL PECVD는 테스가 국산화에 처음으로 성공했다. 이 장비는 반도체 생산 공정이 미세화에 따라 70나노미터(㎚)이하 공정에서 기존 옥사이드, 니트라이드, 옥시니트라이드 필름으로는 정밀한 패턴의 구현이 어려워지는 단점을 극복하게 했다.
D램과 플래시메모리를 주로 생산하는 국내 메모리 반도체 업체는 60∼70나노급 공정에서 보통 5∼8회의 비정질 탄소박막 공정을 필요로 하며 향후 반도체 주력 공정이 60나노 이하 미세 공정으로 전환되면 더 많은 공정을 필요로 하게 된다.
테스는 2007년 1월 정부에서 주관한 상생프로젝트에서 300mm(12인치) PE CVD ACL 개발 사업자로 선정됐으며, 노하우와 경험을 바탕으로 2007년 하반기 개발을 완료했다.
첼린져300은 2007년 말부터 국내외의 주요 반도체 소자업체 300㎜ 양산라인에서 운영되고 있으며 향후 공정미세화가 지속되면 큰 수요가 기대되는 장비다. 특히 PE CVD ACL 장비는 올해 매출처 다변화를 통해 테스의 반도체 장비 매출의 한 축을 담당할 것으로 예상되는 전공정 핵심 장비다.
테스가 박막 태양전지 연구개발 시스템 용도로 개발한 `테슬라(TESLAR) 200' 장비는 비정질 P, I, N 실리콘을 증착하는 PE CVD와, 후면 투명전극과 후면 전극 증착용 스퍼터 설비, 웨이퍼를 장착 및 탈착시키는 챔버 설비, 글라스를 이송시키는 트랜스퍼 모듈로 구성된다.
박막 실리콘 태양전지 산업은 설비투자 비중이 매우 높고, 박막 증착 클러스터 시스템이 전지의 구조 및 효율을 좌우한다는 특징이 있다. 즉 실리콘 박막 태양전지는 장비 요소 기술이 결정형 태양전지에 비해 매우 중요하다. 이점을 착안해 테스는 실리콘 박막 태양전지의 R&D용 시스템으로 핵심장비인 PECVD와 스퍼터(Sputter)를 하나의 시스템으로 구축해 태양전지 제조 환경을 단순화했다.
테스의 박막 태양전지 R&D시스템은 유리기판이 태양전지로 완성될 때까지 대기에 노출되어 박막 고유의 특성을 잃어버리는 것을 최소화해 고효율 태양전지 제조 및 연구활동에 유리하다.
테스가 개발한 `첼린져(CHALLENGER)300'. 웨이퍼 표면에 비정질 탄소 박막(ACL)을 형성하고 증착시키는 장비로 ACL PECVD는 테스가 국산화에 처음으로 성공했다. 이 장비는 반도체 생산 공정이 미세화에 따라 70나노미터(㎚)이하 공정에서 기존 옥사이드, 니트라이드, 옥시니트라이드 필름으로는 정밀한 패턴의 구현이 어려워지는 단점을 극복하게 했다.
D램과 플래시메모리를 주로 생산하는 국내 메모리 반도체 업체는 60∼70나노급 공정에서 보통 5∼8회의 비정질 탄소박막 공정을 필요로 하며 향후 반도체 주력 공정이 60나노 이하 미세 공정으로 전환되면 더 많은 공정을 필요로 하게 된다.
테스는 2007년 1월 정부에서 주관한 상생프로젝트에서 300mm(12인치) PE CVD ACL 개발 사업자로 선정됐으며, 노하우와 경험을 바탕으로 2007년 하반기 개발을 완료했다.
첼린져300은 2007년 말부터 국내외의 주요 반도체 소자업체 300㎜ 양산라인에서 운영되고 있으며 향후 공정미세화가 지속되면 큰 수요가 기대되는 장비다. 특히 PE CVD ACL 장비는 올해 매출처 다변화를 통해 테스의 반도체 장비 매출의 한 축을 담당할 것으로 예상되는 전공정 핵심 장비다.
테스가 박막 태양전지 연구개발 시스템 용도로 개발한 `테슬라(TESLAR) 200' 장비는 비정질 P, I, N 실리콘을 증착하는 PE CVD와, 후면 투명전극과 후면 전극 증착용 스퍼터 설비, 웨이퍼를 장착 및 탈착시키는 챔버 설비, 글라스를 이송시키는 트랜스퍼 모듈로 구성된다.
박막 실리콘 태양전지 산업은 설비투자 비중이 매우 높고, 박막 증착 클러스터 시스템이 전지의 구조 및 효율을 좌우한다는 특징이 있다. 즉 실리콘 박막 태양전지는 장비 요소 기술이 결정형 태양전지에 비해 매우 중요하다. 이점을 착안해 테스는 실리콘 박막 태양전지의 R&D용 시스템으로 핵심장비인 PECVD와 스퍼터(Sputter)를 하나의 시스템으로 구축해 태양전지 제조 환경을 단순화했다.
테스의 박막 태양전지 R&D시스템은 유리기판이 태양전지로 완성될 때까지 대기에 노출되어 박막 고유의 특성을 잃어버리는 것을 최소화해 고효율 태양전지 제조 및 연구활동에 유리하다.
