■반도체ㆍ디스플레이 장비
테스(대표 주숭일)는 2002년 설립해 반도체 전공정 장비인 증착장비의 개조를 주력사업으로 해 온 업체다. 회사가 반도체 장비 국산화에 발벗고 나선 것은 2006년 `반도체 장비재료 성능평가'에서 원자층 증착장비(PECVD ACL) 개발 업체로 선정되면서부터다. 3년여에 걸친 장비개발이 올해 중반 결실을 맞고 7월 원자층 증착장비 `챌린저 300'을 삼성전자의 양산라인에 공급하는 성과를 거뒀다. 이 장비는 전량 수입에 의존해 온 장비로 장비개발 성공과 동시에 주요 반도체 업체 양산라인 적용되며 소자업체의 설비투자 효율성 개선에 크게 기여했다.
테스의 챌린저300은 반도체 웨이퍼 위에 비정질탄소막(ACL)을 입히는 플라즈마화학기상증착(PECVD) 장비다. 단단한 비정질탄소막(ACL)을 증착해 하드마스크로 사용하고, 이를 통해 감광막의 두께를 감소시켜 식각 선택비를 개선한다. 특히 60나노 이하로 미세공정에서 ACL의 하드마스크 대체 효과가 국내 반도체 소자업체들의 원가경쟁력 향상에 그게 기여하고 있다는 평가를 받고 있다. 회사는 PECVD뿐 아니라 다른 전공정 장비인 건식 식각장비와 박리장비의 개발에도 성공해 현재 소자업체 양산라인에서 성능평가를 진행 중이다.
또 테스는 최근 하이닉스와 상생협력 기술교류 협약을 맺었다. 이 협약은 협력업체인 테스와 하이닉스가 기술로드맵을 공유해 장비의 적기 개발을 위한 지원을 받고 기술교류를 통해 외산장비와 동등하게 경쟁할 수 있는 장비 개발을 공동 추진한다. 이를 통해 회사는 12인치 웨이퍼에서 포토레지스트(PR) 및 막질을 제거하는 박리장비 `스피넬300(Spinel300)'의 양산에 매진할 계획이다. 테스는 이 장비가 증착 전후 세정도 가능해 양산공정 적용시 높은 효율성을 제공한다고 설명했다.
테스는 높은 진입장벽을 뛰어넘고 관련 장비를 개발한 만큼 견고한 기술장벽을 구축하기 위한 적극적인 특허전략을 구사한다는 전략이다. 경쟁사들과의 차별화를 위한 `특허경영'을 활성화시키고 있는 것. 회사는 2007년부터 특허전담부서를 운영해 외국업체의 특허위협에 적극 대응하고 있으며 장비 개발 후에는 진입장벽 제고에 만전을 기하고 있다.
실제 테스는 2002년 설립시부터 2006년까지 약 4년정도의 기간에 36건의 국내외 특허출원과 5건을 등록했으나 특허경영을 본격화한 2007년부터 2009년 반기까지 약 2년 반동안 80건의 특허출원과 24건의 특허등록 성과를 냈다.
김영은기자 link@
◆사진설명: 원자층 증착장비 '첼린저300'
테스(대표 주숭일)는 2002년 설립해 반도체 전공정 장비인 증착장비의 개조를 주력사업으로 해 온 업체다. 회사가 반도체 장비 국산화에 발벗고 나선 것은 2006년 `반도체 장비재료 성능평가'에서 원자층 증착장비(PECVD ACL) 개발 업체로 선정되면서부터다. 3년여에 걸친 장비개발이 올해 중반 결실을 맞고 7월 원자층 증착장비 `챌린저 300'을 삼성전자의 양산라인에 공급하는 성과를 거뒀다. 이 장비는 전량 수입에 의존해 온 장비로 장비개발 성공과 동시에 주요 반도체 업체 양산라인 적용되며 소자업체의 설비투자 효율성 개선에 크게 기여했다.
테스의 챌린저300은 반도체 웨이퍼 위에 비정질탄소막(ACL)을 입히는 플라즈마화학기상증착(PECVD) 장비다. 단단한 비정질탄소막(ACL)을 증착해 하드마스크로 사용하고, 이를 통해 감광막의 두께를 감소시켜 식각 선택비를 개선한다. 특히 60나노 이하로 미세공정에서 ACL의 하드마스크 대체 효과가 국내 반도체 소자업체들의 원가경쟁력 향상에 그게 기여하고 있다는 평가를 받고 있다. 회사는 PECVD뿐 아니라 다른 전공정 장비인 건식 식각장비와 박리장비의 개발에도 성공해 현재 소자업체 양산라인에서 성능평가를 진행 중이다.
또 테스는 최근 하이닉스와 상생협력 기술교류 협약을 맺었다. 이 협약은 협력업체인 테스와 하이닉스가 기술로드맵을 공유해 장비의 적기 개발을 위한 지원을 받고 기술교류를 통해 외산장비와 동등하게 경쟁할 수 있는 장비 개발을 공동 추진한다. 이를 통해 회사는 12인치 웨이퍼에서 포토레지스트(PR) 및 막질을 제거하는 박리장비 `스피넬300(Spinel300)'의 양산에 매진할 계획이다. 테스는 이 장비가 증착 전후 세정도 가능해 양산공정 적용시 높은 효율성을 제공한다고 설명했다.
테스는 높은 진입장벽을 뛰어넘고 관련 장비를 개발한 만큼 견고한 기술장벽을 구축하기 위한 적극적인 특허전략을 구사한다는 전략이다. 경쟁사들과의 차별화를 위한 `특허경영'을 활성화시키고 있는 것. 회사는 2007년부터 특허전담부서를 운영해 외국업체의 특허위협에 적극 대응하고 있으며 장비 개발 후에는 진입장벽 제고에 만전을 기하고 있다.
실제 테스는 2002년 설립시부터 2006년까지 약 4년정도의 기간에 36건의 국내외 특허출원과 5건을 등록했으나 특허경영을 본격화한 2007년부터 2009년 반기까지 약 2년 반동안 80건의 특허출원과 24건의 특허등록 성과를 냈다.
김영은기자 link@
◆사진설명: 원자층 증착장비 '첼린저300'
