이병일 테라세미콘 부사장
■ 제1회 디스플레이의 날 - 장관 표창
이병일 테라세미콘 부사장(46세)은 19년간 관련 업계에 몸담아왔으며 2002년 테라세미콘 설립 직후인 2003년부터 합류해 6세대 차세대 고품질 디스플레이용 TFT 회로 뒷판(Back-Plane) 양산장비를 개발해 100억원 이상 수출하는 성과를 거뒀다.
또 기존 AM OLED 기판 결정화에 사용하는 레이저 장비 대신 논-레이저 방식의 독창적인 저온결정화공정장비도 개발해 상용화했다.
논-레이저 저온결정화 장비는 대면적 비정질 실리콘 유리 위에 극박막 촉매를 균일하게 증착시킨 후 고온에서 열처리해 폴리실리콘으로 결정화하는 역할을 한다. 테라세미콘은 논-레이저 결정화를 위해 촉매를 이용하는데, 이를 위한 핵심기술인 균일 초박막 증착기술을 확보하고 있다.
또 이병일 부사장은 금속유도결정화에 필요한 최소 금속량을 주입하는 독창적인 공법을 세계 최초로 개발해 핵심기술 자립도 향상에도 기여했다.
테라세미콘은 반도체, 평판패널디스플레이, 태양전지 장비 제조 전문기업으로, 종래의 일반적 열처리 및 화학증착 공정에서 발생하는 기술 한계를 극복하는 혁신 기술을 보유한 전공정 장비 기업이다.
회사는 300㎜ 반도체 웨이퍼를 초고온에서 열처리할 때 발생하는 변형과 오염을 방지하는 신개념 고온제어기술을 확보하고 있으며 AM OLED 및 저온폴리실리콘(LTPS) LCD를 위한 핵심 고온공정용 장비를 생산하고 있다. 이 외에 실리콘 박막형 태양전지용 장비, 고효율 구리인듐갈륨셀레늄(CIGS)계 박막형 화합물 태양전지의 양산성을 높이는 셀렌화 공정용 가열냉각 장비도 공급하고 있다.
이병일 테라세미콘 부사장(46세)은 19년간 관련 업계에 몸담아왔으며 2002년 테라세미콘 설립 직후인 2003년부터 합류해 6세대 차세대 고품질 디스플레이용 TFT 회로 뒷판(Back-Plane) 양산장비를 개발해 100억원 이상 수출하는 성과를 거뒀다.
또 기존 AM OLED 기판 결정화에 사용하는 레이저 장비 대신 논-레이저 방식의 독창적인 저온결정화공정장비도 개발해 상용화했다.
논-레이저 저온결정화 장비는 대면적 비정질 실리콘 유리 위에 극박막 촉매를 균일하게 증착시킨 후 고온에서 열처리해 폴리실리콘으로 결정화하는 역할을 한다. 테라세미콘은 논-레이저 결정화를 위해 촉매를 이용하는데, 이를 위한 핵심기술인 균일 초박막 증착기술을 확보하고 있다.
또 이병일 부사장은 금속유도결정화에 필요한 최소 금속량을 주입하는 독창적인 공법을 세계 최초로 개발해 핵심기술 자립도 향상에도 기여했다.
테라세미콘은 반도체, 평판패널디스플레이, 태양전지 장비 제조 전문기업으로, 종래의 일반적 열처리 및 화학증착 공정에서 발생하는 기술 한계를 극복하는 혁신 기술을 보유한 전공정 장비 기업이다.
회사는 300㎜ 반도체 웨이퍼를 초고온에서 열처리할 때 발생하는 변형과 오염을 방지하는 신개념 고온제어기술을 확보하고 있으며 AM OLED 및 저온폴리실리콘(LTPS) LCD를 위한 핵심 고온공정용 장비를 생산하고 있다. 이 외에 실리콘 박막형 태양전지용 장비, 고효율 구리인듐갈륨셀레늄(CIGS)계 박막형 화합물 태양전지의 양산성을 높이는 셀렌화 공정용 가열냉각 장비도 공급하고 있다.
