ÃÖÀç¿í ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ºÎÀå
¡á Á¦1ȸ µð½ºÇ÷¹ÀÌÀÇ ³¯ - Àå°ü ǥâ
ÃÖÀç¿í ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ºÎÀå(40¼¼)Àº FP ¼³°èÆÀ¿¡ ÀçÁ÷ÇÏ¸é¼ ±×µ¿¾È Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø Àü°øÁ¤ ÇÙ½ÉÀåºñÀÎ ´ë¸éÀû LCD¿ë ÇöóÁÈÇÐÁõÂøÀåºñ(PECVD)ÀÇ ±¹»êÈ¿Í ±â¼ú¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇØ¿Ô´Ù.
ÃÖ ºÎÀåÀº ±¹³» Àåºñ±â¾÷ Áß Ã³À½À¸·Î 8¼¼´ë ÀÌ»óÀÇ ´ë¸éÀû LCD PECVD Àåºñ °³¹ß ¼º°øÀ» ÁÖµµÇßÀ¸¸ç À̸¦ ÅëÇØ 2004³âºÎÅÍ ¿Ã »ó¹Ý±â±îÁö ±¹³» ¸ÅÃâ ±âÁØÀ¸·Î ¾à 3000¾ï¿øÀÇ ¼öÀÔ ´ëüȿ°ú¸¦ âÃâÇß´Ù.
ƯÈ÷ 100% ±â¼ú ÀÚ¸³À» ½ÇÇö, ´ë¸éÀû PECVD Àåºñ ±¹»êȸ¦ ÅëÇØ ±¹³»¿Ü ¾à 180°ÇÀÇ Æ¯Ç㸦 Ãâ¿øÇϸç ÁöÀûÀç»ê±ÇÀ» È®º¸ÇÑ °ø·Îµµ ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº 1995³â ¼³¸³ ù ÇØ¿¡ Àú¾ÐÈÇбâ»óÁõÂøÀåºñ(LP CVD)¸¦ ±¹»êÈÇßÀ¸¸ç 1997³â¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇٽɰøÁ¤ÀÎ Àü°øÁ¤ ºÐ¾ß Àåºñ¸¦ óÀ½À¸·Î ÇØ¿Ü ¼öÃâÇÏ´Â µî ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇÑ Àåºñ ±¹»êÈ¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÑ ±¹³» ´ëÇ¥Àû ±â¾÷ Áß Çϳª´Ù.
ÀÌ ¿Ü¿¡µµ TFT LCD¿ë ÈÇбâ»óÁõÂøÀåºñ(CVD)¸¦ °³¹ß¤ý¼öÃâÇÏ´Â µî ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ À§ÁÖ »ç¾÷À» LCD·Î È®´ëÇÏ¸ç °ø±Þó ´Ùº¯Èµµ ²ÒÇß´Ù. OLED ÁõÂøÀåºñ¸¦ ºñ·ÔÇØ ÃÖ±Ù¿¡´Â ž籤, LED °ü·Ã Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ¼º°ú¸¦ µµÃâÇϸç Á¦3ÀÇ Àü¼º±â¸¦ ¸Â°í ÀÖ´Ù.
ÃÖÀç¿í ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µ ºÎÀå(40¼¼)Àº FP ¼³°èÆÀ¿¡ ÀçÁ÷ÇÏ¸é¼ ±×µ¿¾È Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ´ø Àü°øÁ¤ ÇÙ½ÉÀåºñÀÎ ´ë¸éÀû LCD¿ë ÇöóÁÈÇÐÁõÂøÀåºñ(PECVD)ÀÇ ±¹»êÈ¿Í ±â¼ú¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇØ¿Ô´Ù.
ÃÖ ºÎÀåÀº ±¹³» Àåºñ±â¾÷ Áß Ã³À½À¸·Î 8¼¼´ë ÀÌ»óÀÇ ´ë¸éÀû LCD PECVD Àåºñ °³¹ß ¼º°øÀ» ÁÖµµÇßÀ¸¸ç À̸¦ ÅëÇØ 2004³âºÎÅÍ ¿Ã »ó¹Ý±â±îÁö ±¹³» ¸ÅÃâ ±âÁØÀ¸·Î ¾à 3000¾ï¿øÀÇ ¼öÀÔ ´ëüȿ°ú¸¦ âÃâÇß´Ù.
ƯÈ÷ 100% ±â¼ú ÀÚ¸³À» ½ÇÇö, ´ë¸éÀû PECVD Àåºñ ±¹»êȸ¦ ÅëÇØ ±¹³»¿Ü ¾à 180°ÇÀÇ Æ¯Ç㸦 Ãâ¿øÇϸç ÁöÀûÀç»ê±ÇÀ» È®º¸ÇÑ °ø·Îµµ ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù.
ÁÖ¼º¿£Áö´Ï¾î¸µÀº 1995³â ¼³¸³ ù ÇØ¿¡ Àú¾ÐÈÇбâ»óÁõÂøÀåºñ(LP CVD)¸¦ ±¹»êÈÇßÀ¸¸ç 1997³â¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ÇٽɰøÁ¤ÀÎ Àü°øÁ¤ ºÐ¾ß Àåºñ¸¦ óÀ½À¸·Î ÇØ¿Ü ¼öÃâÇÏ´Â µî ¿¬±¸°³¹ßÀ» ÅëÇÑ Àåºñ ±¹»êÈ¿¡ Å©°Ô ±â¿©ÇÑ ±¹³» ´ëÇ¥Àû ±â¾÷ Áß Çϳª´Ù.
ÀÌ ¿Ü¿¡µµ TFT LCD¿ë ÈÇбâ»óÁõÂøÀåºñ(CVD)¸¦ °³¹ß¤ý¼öÃâÇÏ´Â µî ±âÁ¸ ¹ÝµµÃ¼ À§ÁÖ »ç¾÷À» LCD·Î È®´ëÇÏ¸ç °ø±Þó ´Ùº¯Èµµ ²ÒÇß´Ù. OLED ÁõÂøÀåºñ¸¦ ºñ·ÔÇØ ÃÖ±Ù¿¡´Â ž籤, LED °ü·Ã Àåºñ¸¦ °³¹ßÇÏ°í ¼º°ú¸¦ µµÃâÇϸç Á¦3ÀÇ Àü¼º±â¸¦ ¸Â°í ÀÖ´Ù.