¼¼°èÀÏ·ù»óÇ°Àº ´ëÇѹα¹ ´ëÇ¥»óÇ°À» À°¼ºÇϱâ À§ÇØ Áö½Ä°æÁ¦ºÎ¿¡¼ ¼±Á¤ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ¼¼°è ÀÏ·ùÀÇ ¼öÃâ»óÇ° À°¼º, ¹Ì·¡ ¼öÃ⵿·Â È®Ãæ µîÀ» À§ÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
¼¼°èÀÏ·ù»óÇ°¿¡ ¼±Á¤µÈ Å×½ºÀÇ PECVD ACL(ºñÁ¤Áúź¼Ò¹Ú¸· ÇöóÁÈÇÐÁõÂø) Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ ¿þÀÌÆÛ Ç¥¸é¿¡ ÇöóÁ¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ACLÀ» Çü¼ºÇÏ°í ÁõÂø½ÃÅ°´Âµ¥ »ç¿ëµÇ´Â Àü°øÁ¤ ÇÙ½ÉÀåºñ´Ù. ¿ÃÇØ »õ·Ó°Ô ¼±Á¤µÈ »óÇ°µé Áß ¹ÝµµÃ¼ Àåºñ·Î´Â À¯ÀÏÇÏ´Ù.
Å×½º °ü°èÀÚ´Â "300mm ¿þÀÌÆÛ¿ë PECVD ACL Àåºñ´Â Å×½º°¡ 2007³â ±¹³» ÃÖÃÊ·Î °³¹ßÇØ ÇöÀç±îÁö ±¹³» Àåºñ¾÷ü Áß À¯ÀÏÇÏ°Ô ¾ç»êÇÏ´Â Á¦Ç°"À̶ó¸ç "±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷µéÀÌ ¼¼°è ¹ÝµµÃ¼ ¼³ºñÅõÀÚ¸¦ ¼±µµÇÏ°í ¹Ì¼¼È ÅõÀÚ¸¦ Áö¼ÓÇÏ°í ÀÖ¾î Á¡À¯À²ÀÌ ´õ¿í È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.
¹è¿ÁÁø±âÀÚ withok@
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º ¹«´Ü ÀüÀç-Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]