한국산업기술평가관리원(원장 이기섭)은 반도체 소자, 디스플레이 패널 제조에 공통으로 사용할 수 있는 국산 제조장비 상용화 지원을 위해 `반도체-디스플레이 공통 핵심장비 기술개발` 3개 과제의 지원대상을 선정했다고 4일 밝혔다.
지원대상으로 선정된 3개 장비는 반도체-디스플레이 제조용 증착기, 식각기, 측정기다. 증착기 과제 주관기관은 성균관대, 원익IPS, 아바코이고 식각기는 KAIST, 에이피티씨, LIG에이디피다. 측정기는 명지대, 오로스테크롤로지, 솔브레인이엔지다.
산기평은 열처리와 세정 장비 분야를 추가로 지원할 계획이다. 이번 사업은 그간 산기평이 추진해온 `나노반도체장비 원천기술상용화사업`이 올해로 끝남에 따라 후속 과제로 기획됐다. 이번 사업에는 올해부터 2015년까지 4년간 총 400억원의 정부출연금이 투입된다.
한편 산기평은 5∼6일 라마다프라자 제주호텔에서 이번 사업전략 협의를 위한 총괄워크숍을 개최한다.
김승룡기자 srkim@
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지원대상으로 선정된 3개 장비는 반도체-디스플레이 제조용 증착기, 식각기, 측정기다. 증착기 과제 주관기관은 성균관대, 원익IPS, 아바코이고 식각기는 KAIST, 에이피티씨, LIG에이디피다. 측정기는 명지대, 오로스테크롤로지, 솔브레인이엔지다.
산기평은 열처리와 세정 장비 분야를 추가로 지원할 계획이다. 이번 사업은 그간 산기평이 추진해온 `나노반도체장비 원천기술상용화사업`이 올해로 끝남에 따라 후속 과제로 기획됐다. 이번 사업에는 올해부터 2015년까지 4년간 총 400억원의 정부출연금이 투입된다.
한편 산기평은 5∼6일 라마다프라자 제주호텔에서 이번 사업전략 협의를 위한 총괄워크숍을 개최한다.
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