¾ÆÁÖ´ë ¼ÇüŹ ±³¼ö ¿¬±¸ÆÀ
¾ÆÁÖ´ëÇб³ ¼ÇüŹ ±³¼ö(½Å¼ÒÀç°øÇаú¡¤»çÁø) ¿¬±¸ÆÀÀÌ Àý¿¬Ã¼ÀÎ µÎ ³ª³ë °áÁ¤ »êȹ°À» Á¢ÇÕÇØ Àüµµµµ Á¶ÀýÀÌ °¡´ÉÇÑ Åõ¸í ÀüÀÚ ½Å¼ÒÀ縦 °³¹ßÇÏ´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù. µÎ ¼ÒÀç°¡ ¸Â´êÀº ¼·Î ´Ù¸¥ µÎ °¡Áö ¹°ÁúÀÌ ¸Â´êÀº »çÀÌÀÇ °æ°è Áï °è¸é¿¡¼ 2Â÷¿ø ÀüÀÚ±¸¸§ÀÌ Çü¼ºµÅ Àüµµµµ°¡ ÃÖ´ë 10ÀÇ 13Á¦°ö ¹è±îÁö ¹ß»ýÇϴ ƯÀÌ Çö»óÀ» ÀÌ¿ëÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
ÇöÀç ³Î¸® È°¿ëµÇ°í ÀÖ´Â Åõ¸í ÀüÀÚ ¼ÒÀç´Â ÀεãÁÖ¼®»êȹ°Ã³·³ ¿©·¯ ¼ººÐÀ» È¥ÇÕÇÑ º¹ÇÕ »êȹ°ÀÌ´Ù. ÇÏÁö¸¸ º¹ÇÕ »êȹ° ¼ÒÀç´Â ¡âÅõ¸íµµÀÇ ÇÑ°è ¡âÀ¯¿¬ ±âÆÇ Àû¿ë¿¡ ÀûÇÕÁö ¾ÊÀº °í¿Â °øÁ¤ ¼ö¹Ý ¡âÀÚÀ¯·Î¿î Àüµµµµ Á¶Àý µîÀÇ ¾î·Á¿òÀÌ ÀÖ¾î ¹Ì·¡Çü µð½ºÇ÷¹ÀÌ¿Í IoT ¼¾¼¿¡ Àû¿ëÀÌ ½±Áö ¾Ê´Ù.¼ ±³¼öÆÀÀÌ °³¹ßÇÑ ½Å¼ÒÀç´Â »ó¿Â¿¡¼ Çü¼ºÇÑ ³ª³ë°áÁ¤ÀÇ Àεã»êȹ°(In2O3) ¹Ú¸· À§¿¡ ±Ý¼Ó-À¯±â ±âü ¿ø·á¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ¿øÀÚ¸¦ ÇÑ Ãþ¾¿ ½×¾Æ ¹Ú¸·À» ÁõÂøÇÏ´Â '¿øÀÚÃþ ÁõÂø¹æ½Ä'(atomic layer growth, ALD)À¸·Î ¾Ë·ç¹Ì´½»êȹ°(Al2O3)À» ½×¾Æ¿Ã¸° ÀûÃþ±¸Á¶·Î µÅÀÖ´Ù. ÀÌ ÀûÃþ±¸Á¶¿¡¼ Àý¿¬Ã¼ÀÎ µÎ ¼ÒÀç°¡ ¸Â´êÀº µÎ²² 5nm ÀÌÇÏÀÇ °è¸é ºÎºÐ¿¡¼ Àüµµµµ°¡ ºñ¾àÀûÀ¸·Î Áõ°¡ÇØ ÀüµµÃ¼°¡ µÇ´Â ºñÀüÇüÀûÀÎ Çö»óÀÌ ÀϾÙ. °è¸é¿¡¼ÀÇ Àüµµµµ´Â ÁõÂø ÀüÀÇ »óź¸´Ù ÃÖ´ë 10ÀÇ 13Á¦°ö ¹è±îÁö Áõ°¡ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ÃøÁ¤µÆ´Ù.
¼ ±³¼öÆÀÀº ÀÌ Çö»óÀ» 'ÁÖ»çÅõ°úÀüÀÚÇö¹Ì°æ'À¸·Î '¿øÀÚ´ÜÀ§ ÀüÀÚ±¸Á¶'¸¦ ºÐ¼®ÇØ µÎ ¹Ú¸·ÀÇ Á¼Àº °è¸é¿¡ Àεã»êȹ°°ú ¾Ë·ç¹Ì´½»êȹ°ÀÌ µÚ¼¯¿© ¿øÀÚ¸¦ ÀÌ·ç´Â ÀüÀÚ°¡ ±¸¸§Ã³·³ ºÐ¸íÇÏÁö ¾ÊÁö¸¸ ÀÏÁ¤ÇÑ ¸ð¾çÀ¸·Î ºÐÆ÷ÇÏ´Â °ÍÀ» ¹ß°ßÇß´Ù. ¼ ±³¼öÆÀÀº À̸¦ 'ÀüÀÚ±¸¸§ Çö»ó'À¸·Î º¸°í ÀÌ °÷¿¡¼ '±¹ºÎÀû 2Â÷¿ø ÀüÀÚ ÀüµµÇö»ó'ÀÌ ¹ß»ýÇÑ °ÍÀ» ¹àÇô³Â´Ù. ±¹ºÎÀû 2Â÷¿ø ÀüÀÚ ÀüµµÇö»óÀ̶õ ¾ÆÁÖ Á¼Àº ¿µ¿ª¿¡ ÀüÀÚ°¡ °¤È÷¸é ÀüÀÚ »ê¶õÀÌ ¾ø¾îÁ® Àü·ù°¡ È帣°Ô µÇ´Â Çö»óÀ» ¸»ÇÑ´Ù.
À̹ۿ¡µµ ½Å¼ÒÀç´Â 100%¿¡ À°¹ÚÇÏ´Â ¿Ïº®ÇÑ °¡½Ã±¤ Åõ°úÀ²°ú 1³â ÀÌ»óÀÇ °ø±â Áß ³ëÃâ¿¡µµ Ư¼º ÀúÇÏ°¡ ¾ø¾î ³»±¸¼º¿¡µµ ÀåÁ¡À» °¡Áö°í ÀÖ¾ú´Ù. ±×µ¿¾È ÀÌÁ¾Á¢ÇÕ¼ÒÀç´Â Àüµµµµ¸¦ Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù´Â ÀåÁ¡ ¶§¹®¿¡ ÇаèÀÇ ¸¹Àº °ü½ÉÀ» ¹Þ¾Æ¿ÔÁö¸¸ °øÁ¤ °úÁ¤¿¡¼ ÇÊ¿äÇÑ ´Ü°áÁ¤ÀÇ ±âÆÇ »ý¼ºÀÇ ¾î·Á¿ò, °í¿ÂÀÇ »ý»ê°úÁ¤ ±×¸®°í ÈÇÐÀû ºÒ¾ÈÁ¤¼º, »ó¿Â¿¡¼ÀÇ Æ¯¼º ÀúÇÏ µîÀÇ ±â¼úÀû ¹®Á¦µé ¶§¹®¿¡ ¾ç»ê°¡´É¼ºÀº ³·Àº °ÍÀ¸·Î Æò°¡µÆ´Ù. ÇÏÁö¸¸ ¼ ±³¼öÆÀÀÇ ½Å¼ÒÀç´Â ÇöÀç »ç¿ëµÇ°í ÀÖ´Â ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇØ ¸ðµç ÇѰ踦 ±Øº¹ÇÏ°í ÀÌ·ÐÀû °¡´É¼ºÀ» ½ÇÇö½ÃÄ×´Ù´Â Á¡¿¡¼ 'ȹ±âÀû'À̶õ Æò°¡¸¦ ¹Þ°í ÀÖ´Ù. ¼ ±³¼öÆÀ ³í¹®Àº ÈÇаú ¹°¸® ºÐ¾ß¿¡¼ ÃÖ°í¼öÁØÀÇ Àú³ÎÀÎ 'ACS Nano'(ÀοëÁö¼ö=13.334) ÃÖ½ÅÈ£¿¡ ¼Ò°³µÆ´Ù.
¼ ±³¼ö´Â À̹ø ½Å¼ÒÀ縦 "ÀüµµµµÀÇ Á¶ÀýÀÌ ÀÚÀ¯·Ó°í, Åõ¸íÇÏ°í À¯¿¬ÇØ ÀüÀÚ¼ÒÀÚÀÇ ÇÙ½É ¼ÒÀç·Î Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù"¸ç, "¹«¾ùº¸´Ù ±âÁ¸ÀÇ ¹ÝµµÃ¼¿Í µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤°ú ȣȯµÇ´Â ¹æ½ÄÀÌ¾î¼ Áï½Ã »ó¿ëÈ°¡ °¡´ÉÇÏ´Ù"°í °Á¶Çß´Ù. ÇÑÆí ÀÌ ±â¼úÀº ¹Ú»ç°úÁ¤ÀÇ ÀÌ»ó¿¬ ÇлýÀÌ Á¦ 1 ÀúÀÚ·Î Âü¿©Çß°í Çѱ¹¿¬±¸Àç´ÜÀÇ ³ª³ë¼ÒÀç¿øõ±â¼ú»ç¾÷ÀÇ Áö¿øÀ» ¹Þ¾Æ ÀÌ·ïÁ³´Ù. ±¹³»¿Ü ƯÇã Ãâ¿ø ÁßÀÌ´Ù.
À̱ÔÈ ¼±ÀÓ±âÀÚ david@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]