논문 제목은 'Atomic Layer Deposited High-k Dielectric on Graphene by Functionalization through Atmospheric Plasma Treatment'(상압 플라즈마 처리를 통해 활성화된 그래핀 표면 위 원자층 증착 공정으로 형성된 고유전율 유전체)다. 광운대 제공
논문 제목은 'Atomic Layer Deposited High-k Dielectric on Graphene by Functionalization through Atmospheric Plasma Treatment'(상압 플라즈마 처리를 통해 활성화된 그래핀 표면 위 원자층 증착 공정으로 형성된 고유전율 유전체)다.
논문에서는 그래핀 소재를 다양한 전자소자에 적용하기 위해 그래핀 위 고품질 박막 증착 기술을 제안한다. 탄소원자로 벌집 모양 격자를 구성하고 있는 그래핀은 원자 하나의 얇은 두께를 갖는 2차원 소재이며 높은 전도도, 유연성, 생체적합성 등의 우수한 특성 덕분에 차세대 전자 소재로서 많은 연구가 진행되고 있다. 하지만 그래핀 표면은 화학적으로 비활성적이기 때문에 화학적 결합에 기반하는 원자층 증착 기술을 적용해 그래핀 표면에 고품질 박막을 형성하는 데 어려움이 있었다.
이번 연구에서는 상압 플라즈마 공정을 이용해 구조적 및 전기적 성능 저하를 최소화하면서 그래핀 표면을 활성화했으며, 활성화된 그래핀 표면 위에 원자층 증착 기술을 이용해 고품질의 ZrO2 유전 박막을 형성함으로써 그래핀 표면에서도 화학적 결합에 기반한 증착 기술을 응용할 수 있음을 보였다.
지도 교수인 이태훈 교수(광운대 전기공학과)에 따르면 "이 논문은 2차원 소재 그래핀의 전기적 물리적 특성 저하를 최소화하면서 고유전율 절연막을 증착하는 기술을 연구한 것"이라며 "그래핀과 고유전율 절연막에 기반한 플렉서블 바이오메디컬 센서를 비롯한 다양한 전자소자의 기술 발전에 기여할 것으로 기대된다"고 말했다.
광운대는 강명훈 학생이 '앞으로 대학원에 진학하여 그래핀 기반 고민감도 바이오 센서 및 전자소자를 연구하고 그 결과를 이용해 스타트업에 도전하고 싶다'며, '많은 학부생들이 학과 교수님들의 연구실에서 다양한 연구와 경험을 쌓고 진로 선택의 폭을 넓혔으면 좋겠다'고 말했다고 밝혔다.이규화 선임기자 david@dt.co.kr
[ 저작권자 ⓒ디지털타임스, 무단 전재 및 재배포 금지 ]
