µðÁöÅПÀÓ½º

 


Ú¸, ¾çÀÚ¡¤Â÷¼¼´ë¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâÅëÁ¦ ÃßÁø¡¦Çѱ¹, `Çã°¡¸éÁ¦`¼­ ºüÁ®

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
çÈ¡¤ìí µî À¯»ç ¼öÃâÅëÁ¦ ½ÃÇà ±¹°¡, Ú¸ Á¤ºÎÀÇ Çã°¡ ¸éÁ¦ ¹Þ¾Æ
ùÛ, ¼öÃâ½Ã Çã°¡ ÇÊ¿äÇϳª Ú¸ Çã°¡¹æħÀ̾ ¿µÇâ Á¦ÇÑÀûÀϵí
Çѱ¹¿¡ ¼öÃâÅëÁ¦ µ¿Âü ¾Ð¹ÚÇØ¿Â Ú¸ "´õ ¸¹Àº ±¹°¡ Âü¿© ¿¹»ó"
Ú¸, ¾çÀÚ¡¤Â÷¼¼´ë¹ÝµµÃ¼ ¼öÃâÅëÁ¦ ÃßÁø¡¦Çѱ¹, `Çã°¡¸éÁ¦`¼­ ºüÁ®
¹ÝµµÃ¼°øÀå ¹Ù¶óº¸´Â À±¼®¿­ ´ëÅë·É°ú Á¶ ¹ÙÀÌµç ¹Ì±¹ ´ëÅë·É. [¿¬ÇÕ´º½º]

¹Ì±¹ Á¤ºÎ°¡ ¾çÀÚÄÄÇ»Æðú Â÷¼¼´ë ¹ÝµµÃ¼ µî ±¹°¡ ¾Èº¸¿¡ Áß¿äÇÑ ÃÖ÷´Ü ±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ »õ·Î¿î ¼öÃâ ÅëÁ¦¿¡ ³ª¼¹´Ù.

¹Ì±¹Àº ÀÌ °úÁ¤¿¡¼­ ÀÚ±¹¿¡ ÁØÇÏ´Â ¼öÁØÀÇ ¼öÃâÅëÁ¦ üÁ¦¸¦ °®Ãá ³ª¶ó¿¡ ´ëÇؼ± ¹Ì±¹ Á¤ºÎÀÇ Çã°¡ ¾øÀÌ ÀÌ·± ±â¼úÀ» ¼öÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Á¦µµ¸¦ ½Å¼³Çß´Ù.

±×·¯³ª, Çѱ¹Àº ±× ´ë»ó¿¡ ´çÀå Æ÷ÇÔµÇÁø ¾Ê¾Ò´Ù. ´Ù¸¸, ¹Ì±¹Àº Çѱ¹ÀÇ °æ¿ì Çã°¡¸¦ ½ÅûÇÏ¸é ½ÂÀÎÇÏ°Ú´Ù´Â ¹æħÀ» ¼¼¿î °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ® Çѱ¹ ±â¾÷µé¿¡ ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀº Á¦ÇÑÀûÀÏ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.

¹Ì±¹ »ó¹«ºÎ »ê¾÷¾Èº¸±¹(BIS)Àº 5ÀÏ(ÇöÁö½Ã°£) ¾çÀÚ ÄÄÇ»ÆÃ, ÷´Ü¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ µîÀÇ ÇÙ½É ½ÅÈï±â¼úÀ» ¼öÃâÅëÁ¦ ´ë»óÀ¸·Î ÁöÁ¤ÇÏ´Â Àӽà ÃÖÁ¾ ±ÔÄ¢(IFR)À» ¹ßÇ¥Çß´Ù.

À̹ø Á¶Ä¡´Â ¹Ì±¹ÀÌ Àü·«Àû °æÀïÀÚ·Î ±ÔÁ¤ÇÑ Áß±¹°ú ·¯½Ã¾Æ¡¤À̶õ µî Àû¼º±¹À» °Ü³ÉÇÑ °ÍÀ¸·Î, ¹Ì±¹Àº À̹ø ¼öÃâÅëÁ¦¸¦ µµÀÔÇÏ´Â °úÁ¤¿¡ À¯»ç ÀÔÀå±¹°ú Çù·ÂÀ» °­È­Çß´Ù°í ¹àÇû´Ù.

BIS´Â ÷´Ü ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡ »ý»ê¿¡ ÇʼöÀûÀÎ µµ±¸ ¹× ±â°è, ½´ÆÛÄÄÇ»ÅÍ¿¡ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â °í¼º´É ÄÄÇ»ÅÍ ¹ÝµµÃ¼¸¦ »ý»êÇϰųª °³¹ßÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼úÀÎ GAA(°ÔÀÌÆ®¿Ã¾î¶ó¿îµå) ±â¼ú, ±Ý¼Ó ºÎÇ°À» »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 3D ÇÁ¸°Æà ±â¼úÀ» ÅëÁ¦Çß´Ù.

¾çÀÚ ÄÄÇ»ÆÃÀÇ °æ¿ì ¾çÀÚ ÄÄÇ»ÅÍ¿Í °ü·Ã Àåºñ, ºÎÇ°, Àç·á, ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î ¹× ¾çÀÚ ÄÄÇ»ÅÍ °³¹ß ¹× À¯Áö °ü¸®¿¡ »ç¿ëµÉ ¼ö ÀÖ´Â ±â¼ú µîÀÌ´Ù.

¾Ù·± ¿¡½ºÅ׺£½º »ê¾÷¾Èº¸Â÷°üÀº "¾çÀÚ¿Í ±âŸ ÷´Ü±â¼ú¿¡ ´ëÇÑ ¿ì¸®ÀÇ ¼öÃâÅëÁ¦¸¦ ÇÔ²² ¸ÂÃß¸é ¿ì¸®ÀÇ ÀûµéÀÌ ÀÌ·± ±â¼úÀ» °³¹ß¡¤µµÀÔÇØ ¿ì¸®ÀÇ Áý´Ü ¾Èº¸¸¦ À§ÇùÇÏ´Â °ÍÀ» »ó´çÈ÷ ´õ ¾î·Æ°Ô ¸¸µç´Ù"°í ¹àÇû´Ù.

BIS´Â "¸î¸î ±¹°¡°¡ ÀÌ·± ±â¼ú¿¡ ´ëÇØ ÀÌ¹Ì À¯»çÇÑ ¼öÃâÅëÁ¦¸¦ µµÀÔÇß´Ù"¸é¼­ "ÀÌµé ±¹°¡¿¡ ÅëÁ¦ Ç°¸ñÀ» ¼öÃâÇÒ ¶§´Â ¹Ì±¹ Á¤ºÎ Çã°¡¸¦ ¹ÞÁö ¾Ê¾Æµµ µÇ´Â '¼öÃâÅëÁ¦ ½ÃÇà±¹'(IEC) Çã°¡ ¸éÁ¦¸¦ ½Å¼³Çß´Ù"°í ¹àÇû´Ù.

BIS´Â À̳¯ »õ·Î ÁöÁ¤ÇÑ 24°³ ÅëÁ¦ Ç°¸ñº°·Î ¼öÃâ Çã°¡°¡ ÇÊ¿ä ¾ø´Â ±¹°¡ ¸í´ÜÀ» °ø°³Çß´Ù. Çѱ¹Àº ¿©±â¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê¾Ò´Ù.

¿¹ÄÁ´ë ¼öÃâÅëÁ¦ Ç°¸ñ Áß ±Ý¼Ó ºÎÇ° »ý»ê¿¡ ÇÊ¿äÇÑ 3D ÇÁ¸°Æà Àåºñ(2B910)ÀÇ °æ¿ì ÀÌÅ»¸®¾Æ, ¿µ±¹, ¹Ì±¹¿¡ À̸¦ ¼öÃâÇÒ ¶§´Â Á¤ºÎ Çã°¡°¡ ÇÊ¿ä ¾ø´Ù.

GAA¿¡ ÇÊ¿äÇÑ °Ç½Ä ½Ä°¢(isotropic dry etching)¿ë ÀåºñÀÇ °æ¿ì È£ÁÖ, µ¶ÀÏ, ij³ª´Ù, ÇÁ¶û½º, ÀÌÅ»¸®¾Æ, ÀϺ», ½ºÆäÀÎ, ¿µ±¹, ¹Ì±¹¿¡ Çã°¡ ¾øÀÌ ¼öÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

Çѱ¹ÀÌ IEC Çã°¡ ¸éÁ¦ ´ë»ó¿¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾ÊÀ½¿¡ µû¶ó Çѱ¹ ±â¾÷µéÀº ÀÌ¿¡ Æ÷ÇÔµÈ ±¹°¡ ±â¾÷¿¡ ºñÇØ »ó´ëÀûÀ¸·Î ºÒÀÌÀÍÀ» ¹ÞÀ» °ÍÀ̶õ ¿ì·Á°¡ ³ª¿Ô´Ù.

ÇÏÁö¸¸, Çѱ¹ ±â¾÷µéÀÌ È°µ¿ÇÏ´Â µ¥ ÀÖ¾î Å« Â÷ÁúÀº ¾øÀ» °ÍÀ̶ó´Â °üÃøµµ ³ª¿Â´Ù. BIS´Â À̹ø¿¡ ÁöÁ¤ÇÑ ¼öÃâÅëÁ¦ Ç°¸ñ°ú °ü·ÃÇØ ±×·ì A:1, A:5, A:6¿¡ ¼ÓÇÑ ±¹°¡¿¡ ¼öÃâÇÏ´Â °æ¿ì '½ÂÀÎ ÃßÁ¤ ¿øÄ¢'À» Àû¿ëÇÑ´Ù°í ±ÔÁ¤Ç߱⠶§¹®ÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ¹Ì±¹ Á¤ºÎ¿¡ ¼öÃâ Çã°¡¸¦ ½ÅûÇÏ¸é ¹ß±ÞÇØÁÖ°Ú´Ù´Â Àǹ̷Î, Çѱ¹Àº A:1, A:5 ±×·ì¿¡ ¼ÓÇØ ÀÖ´Ù.

¿ö½ÌÅÏÀÇ ÇÑ ¼Ò½ÄÅëÀº "(ÀÌ´Â) Çѱ¹¿¡ ´ëÇÑ ¼öÃâÀ» Çã°¡ÇØÁشٴ ¿øÄ¢À̱⠶§¹®¿¡ ´çÀå Á÷Á¢ÀûÀÎ Å« ¿µÇâÀº ¾øÀ» °ÍÀ̶ó »ý°¢ÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.

ÇÑ¹Ì ¾ç±¹Àº ÀÌ ¹®Á¦¸¦ µÎ°í Á¤ºÎ °£¿¡ ±ä¹ÐÇÏ°Ô ÇùÀÇÇØ¿Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.

¹Ý¸é BIS´Â D:1À̳ª D:5¿¡ Æ÷ÇÔµÈ ±¹°¡¿¡´Â '°ÅºÎ ÃßÁ¤ ¿øÄ¢'À» Àû¿ëÇß´Ù. ½ÅûÇصµ Çã°¡ÇÏÁö ¾Ê°Ú´Ù´Â ÀǹÌÀε¥ ÀÌ ±×·ìÀÇ ´ëÇ¥ ±¹°¡´Â Áß±¹ÀÌ´Ù.

IEC Çã°¡ ¸éÁ¦ ±¹°¡¿¡ Æ÷ÇԵǷÁ¸é Çѱ¹µµ ¹Ì±¹°ú À¯»çÇÑ ¼öÃâÅëÁ¦¸¦ µµÀÔÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ¹ÙÀ̵ç ÇàÁ¤ºÎ´Â ±×µ¿¾È Áß±¹, ·¯½Ã¾Æ µî Àû¼º±¹À» °Ü³ÉÇÑ ¼öÃâÅëÁ¦¿¡ ±¸¸ÛÀÌ »ý±âÁö ¾Êµµ·Ï Çѱ¹À» ºñ·ÔÇÑ µ¿¸Í¿¡ À¯»çÇÑ ¼öÃâÅëÁ¦¸¦ µµÀÔÇÒ °ÍÀ» ¼³µæÇØ¿Ô´Ù. ƯÈ÷, Çѱ¹¿¡´Â ¹ÝµµÃ¼ ÀåºñÀÇ Áß±¹ ¼öÃâÀ» ÅëÁ¦Ç϶ó°í ¾Ð¹ÚÇØ¿Ô´Ù.

Çѱ¹ Á¤ºÎ´Â ÀÌ·± »óȲ¿¡ ¸ÂÃç ´ë¿Ü¹«¿ª¹ýÀ» °³Á¤ÇØ°¡¸ç ¼öÃâÅëÁ¦ Á¦µµ¸¦ Á¤ºñÇÏ°í ÀÖÁö¸¸, ¹ÝµµÃ¼Àåºñ ¼öÃâÅëÁ¦ µ¿Âü ¿©ºÎ´Â ¾ÆÁ÷ °ËÅä ÁßÀ̶ó´Â ÀÔÀåÀÌ´Ù.

BIS´Â "À¯»ç ÀÔÀå±¹ÀÌ ÀÚ±¹ °üÇÒ¿¡¼­ ¾çÀÚÄÄÇ»ÅÍ¿Í Ã·´Ü¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °ü·Ã Ç°¸ñÀÇ »õ·Î¿î ±¹°¡ ´ÜÀ§ ¼öÃâÅëÁ¦¸¦ ÀÌ¹Ì ¹ßÇ¥Ç߰ųª ½ÃÇàÇß´Ù"¸é¼­ "´õ ¸¹Àº ±¹°¡°¡ °ð À¯»çÇÑ ÅëÁ¦¸¦ ½ÃÇàÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÇÑ´Ù"°í ¹àÇû´Ù. ¹Ú¾ç¼ö±âÀÚ yspark@dt.co.kr







[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]