ÀüÀÚ¿ëÁ¦ ¹× ¼Ò·®´ÙÇ°Á¾ÀÇ °íºÎ°¡°¡Ä¡ ¼®À¯ÈÇÐ Á¦Ç°°ú ÀçÈ°¿ë ÀÚ¿øÀ» È°¿ëÇØ »ê¾÷¿ë ´ëü ¿¬·áÀ¯¸¦ Àü¹®ÀûÀ¸·Î »ý»êÇÏ´Â »ç¾÷À» ½ÃÀÛÀ¸·Î ÃÖ±Ù¿¡´Â µ¶ÀÚÀûÀÎ ±â¼ú·Î Ç°Áú±Ô°ÝÀÌ ±î´Ù·Î¿î ÀüÀÚÁ¦Ç° ¹× ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀç Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¿ëÁ¦¿Í Àü±âÂ÷ ¹èÅ͸®¿ë ¼ÒÀ縦 »ý»êÇÏ¸ç ±¹³»¿Ü ÁÖ¿ä °í°´»ç¿¡ ±× ±â¼ú·ÂÀ» ÀÎÁ¤¹Þ¾Ò´Ù.
±¹³» ±â¾÷ ÃÖÃÊ·Î Á¦Á¶°øÁ¤¿¡¼ »ç¿ëµÈ ÆóNMP¸¦ Àç»ý¿¡ ¼º°ø, ÇöÀç´Â ½ÅÁ¦Ç° ´ëºñ ¿ì¼öÇÑ Ç°Áú°ú °¡°Ý°æÀï·Â, ±¹³» ÃÖ´ë ±Ô¸ðÀÇ »ý»ê ¿ª·®À» ¹ÙÅÁÀ¸·Î ½ÃÀåÀ» ÁÖµµÇÏ°í ÀÖ´Ù. EUV ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡ ¾²ÀÌ´Â EEP ÇÕ¼º±â¼ú °³¹ßÀ» ÅëÇØ ±âÁ¸ Àü·® ¼öÀÔ¿¡ ÀÇÁ¸ÇÏ°í ÀÖ´ø Á¦Ç°À» Àü·® ±¹»êÈÇÔÀ¸·Î½á ¿¬°£ 800¾ï¿øÀÇ ¼öÀÔ ´ëü È¿°ú¸¦ ¾ò´Â µ¥ ¼º°øÇß´Ù.
Àç¿ø»ê¾÷Àº ´Ù¾çÇÑ »çȸ°øÇå È°µ¿À» ÅëÇØ »ó»ýÁ¤½ÅÀ» ½ÇõÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÃÑ 44¾ï¿øÀÇ ÀåÇбâ±ÝÀ» Á¶¼ºÇØ Áö³ 2002³âºÎÅÍ ÃÑ 1020¿©¸íÀÇ ÀåÇлýÀ» ¼±¹ß ¹× ÀåÇбÝÀ» Áö±ÞÇÏ°í ÀÖ´Â Àç¿øÀåÇÐȸ°¡ ÀÖÀ¸¸ç, °áÈ¥À̹ÎÀÚµéÀÇ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ Á¤Âø°ú »ýÈ°Áö¿øÀ» À§ÇØ ¾à 27¾ï¿øÀÇ ±â±Ý Á¶¼º ÈÄ ´Ù¹®Èº¹Áö¿øÀ» ¼³¸³¡¤¿î¿µÇÏ°í ÀÖ´Ù.
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º ¹«´Ü ÀüÀç-Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]