JFS 500´ë°ø±Þ µ¹ÆÄ´Â Àú½ºÅÛÀÌ ¿ÃÇØ 1¿ù ¿¸° ¼¼¹ÌÄÜ ÄÚ¸®¾Æ¿¡¼ Á¦Ç°À» °ø½ÄÀûÀ¸·Î óÀ½ ¹ßÇ¥ÇÑ ÀÌÈÄ 10°³¿ù¸¸¿¡ ´Þ¼ºÇÑ ¼º°ú´Ù. ÀÌ¹Ì ¼¼°è ½ÃÀåÀÇ 80% ÀÌ»óÀ» Á¡À¯ÇÏ°í ÀÖ´Â Àú½ºÅÛÀÇ ±âÁ¸ 1¼¼´ë ½ÀµµÁ¦¾î Á¦Ç° N2 PURGE¼Ö·ç¼ÇÀÇ °ø±Þ¼Óµµº¸´Ù ºü¸£°Ô ¾ç»ê°ø±ÞÀÌ ÁøÇàµÅ ½ÃÀåÀü¸ÁÀ» ¹à°ÔÇÏ°í ÀÖ´Ù°í ȸ»çÃøÀº ¼³¸íÇß´Ù.
Àú½ºÅÛ¿¡ µû¸£¸é ±Û·Î¹ú Á¾ÇÕ ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ M»ç¿¡ Ãß°¡ °ø±ÞÀÌ ¿¹»óµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç ±Û·Î¹ú ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ A»ç¿Íµµ ÇöÀç Á¦Ç° Àû¿ë ¿©ºÎ¸¦ ÇùÀÇ ÁßÀÌ´Ù. Àú½ºÅÛÀº °ø±ÞÀÌ °¡½ÃÈµÇ¸é ½ÀµµÁ¦¾îºÐ¾ß ±Û·Î¹ú ½ÃÀå¿¡¼ ȸ»çÀÇ ÀÔÁö°¡ ´õ¿í È®´ëµÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÏ°í ÀÖ´Ù.
JFS´Â Àú½ºÅÛÀÌ 3³â¿©ÀÇ ¿¬±¸°³¹ß ³¡¿¡ ¿øõ ƯÇ㸦 È®º¸ÇÏ°í 100% ÀÚü °³¹ßÇÑ ¼¼°è ÃÖÃÊ ±â·ùÁ¦¾î Á¦Ç°ÀÌ´Ù. ÀÌ Àåºñ´Â ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤¿¡¼ FOUP ³»ºÎ½Àµµ¸¦ 1% ÀÌÇϱîÁö Á¦¾îÇØ ¼öÀ² Çâ»ó¿¡ ±â¿©ÇÑ´Ù. ¸ðµç ¹ÝµµÃ¼ ÀåÄ¡¿¡ °øÅëÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â EFEM(Equipment Front End Module)¿¡ Ãß°¡ À¯Æ¿¸®Æ¼ ¾øÀÌ ¼³Ä¡ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ½Ã°£°ú ºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ ÀåÁ¡ÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ È¿À²Àû ¼³Ä¡¿Í Ź¿ùÇÑ °¡¼ººñ·Î ÀÎÇØ Çõ½ÅÀû ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î Æò°¡¹Þ°í ÀÖ´Ù.
ÇöÀç ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¾÷ȲÀº ´Ù¼Ò ºÎÁøÇÑ »óȲÀ̳ª ÀΰøÁö´É(AI) °¡¼Ó±â¿Í HBM ¼ö¿äÀÇ ±Þ°ÝÇÑ Áõ°¡·Î ½Àµµ Á¦¾î¸¦ ÅëÇÑ ¼öÀ² Çâ»óÀÇ Á߿伺ÀÌ ÁÖ¸ñ¹Þ°í ÀÖ´Ù.
±è¿ëÁø Àú½ºÅÛ »çÀåÀº "¹ÝµµÃ¼ ¼ÒºÎÀå ½ÃÀåÀÇ ºÒȲ¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í, Àú½ºÅÛÀº 3ºÐ±â¿¡ Àü ºÐ±â¿¡ ´ëºñÇØ ¸ÅÃâÀÌ È¸º¹µÆ´Ù"¸ç "2¼¼´ë JFS ¼Ö·ç¼ÇÀÌ ÁÖ¿ä ¹ÝµµÃ¼ ±â¾÷ÀÇ ¼öÀ² Çâ»ó¿¡ ÇÊ¿äÇÑ Ç¥ÁØ ¼Ö·ç¼ÇÀÌ µÉ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÑ´Ù"°í ÀüÇß´Ù. ¹Ú¼ø¿ø±âÀÚ ssun@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]