µðÁöÅПÀÓ½º

 


±¹Á¦¿¤·ºÆ®¸¯, »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ 300§® ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤¿ë Àåºñ °ø±Þ

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
¹ÝµµÃ¼ Àü°øÁ¤ Àåºñ¾÷üÀÎ ±¹Á¦¿¤·ºÆ®¸¯(´ëÇ¥ ÀåÀ翵)Àº »ï¼ºÀüÀÚ¿Í 78¾ï¿ø »ó´çÀÇ 300§® ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤¿ë È®»êÀåºñ(µðÇ»Àü ÆÛ´Ï½º)¿Í Àú¾Ð È­Çбâ»óÁõÂø(LP CVD) Àåºñ¸¦ °ø±ÞŰ·Î °è¾àÇß´Ù°í 28ÀÏ ¹àÇû´Ù.

ȸ»ç Ãø¿¡ µû¸£¸é ±¹Á¦¿¤·ºÆ®¸¯Àº À̹ø ¼öÁÖ¸¦ Æ÷ÇÔÇØ ÀÌ ´Þ¿¡¸¸ ¾à 130¾ï¿ø »ó´çÀÇ ¼öÁÖ¸¦ ¿Ã·ÈÀ¸¸ç ¿ÃÇØ µé¾î 400¾ï¿ø »ó´çÀÇ ¼öÁÖ¾×À» È®º¸Çß´Ù.


ÀÌ È¸»ç ÀÌ¿µ¹ü ÆÀÀåÀº "¿ÃÇØ »ï¼ºÀüÀÚ ¹× ÇÏÀ̴нº µî ±¹³» ¹ÝµµÃ¼ ¼ÒÀÚ Á¦Á¶»çÀÇ ÅõÀÚ ±Ô¸ð°¡ Àü³â´ëºñ ¼ÒÆø Áõ°¡ÇÒ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÇ´Â °Í°ú °ü·Ã, ±¹Á¦¿¤·ºÆ®¸¯ ¸ÅÃâ¿¡µµ ±àÁ¤ÀûÀÎ ¿µÇâÀ» ÁÙ °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁÇÑ´Ù"°í ¸»Çß´Ù.

ÇÑÆí, ÀÌ È¸»ç´Â ÃÖ±Ù °æ±âµµ È­¼º ¼ÒÀç Áö»ó 3Ãþ(¿¬¸éÀû 312Æò) ±Ô¸ðÀÇ »ç¾÷ÀåÀ» ½ÅÃà, ´ÙÀ½´Þ 1ÀϺÎÅÍ °¡µ¿¿¡ µé¾î°¥ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.