필수소모성 핵심부품 불구 수입의존도 커
엔트로피ㆍ프로메인 등 국내업체 속속 진입
그동안 국산화가 미흡했던 반도체 핵심 부품인 정전척(ESC) 시장에 국내 기업들이 속속 뛰어들며 국산화에 대한 기대감이 커지고 있다.
16일 관련업계에 따르면 코미코에 이어 엔트로피ㆍ프로메인ㆍ코리아세미텍(KST) 등이 반도체 공정용 핵심장비인 건식 식각장비(드라이에처) 등에 적용되는 부품인 정전척(ESC) 시장 진입에 적극 나서고 있다.
정전척은 반도체 식각장비 내부에서 정전기를 이용해 반도체 원판(웨이퍼)과 하부전극 사이의 간격을 일정하게 유지시켜주는 기능을 하는 고부가가치 소모성 부품이다. 정전척은 2년 정도를 주기로 교체해야 하는 필수 소모성 부품임에도 불구하고 국산화 비율이 23% 수준에 그치고 있다.
이에 따라 그동안 도쿄일렉트론ㆍ램리서치ㆍ어플라이드머티리얼 등 해외 유수 업체들로부터 수입에 의존했던 반도체 정전척 국산화에 국내 기업들이 적극 나섬으로써, 향후 관련시장에서 국내 기업들의 입김이 거세질 것으로 전망된다.
엔트로피(대표 김문환)는 내년 중 상용화를 목표로 최근 반도체 정전척 개발에 착수했다.
이 회사 김용삼 부사장은 "올 들어 LCD 장비용 정전척을 삼성전자ㆍLG필립스LCD 등에 활발하게 공급하고 있다"며 "LCD 정전척 부문에서 확보한 리더십을 바탕으로 반도체 장비용 정전척 사업에도 적극 나설 계획"이라고 설명했다.
나노기술 전문기업인 시노펙스 자회사로 편입된 프로메인(대표 우홍식)은 최근 신소재를 적용해 반도체 정전척을 개발하고 상용화에 나서고 있다고 밝혔다.
회사 측은 나노폴리머와 탄소를 합성해 반도체 정전척을 개발했으며, 이는 기존 세라믹 등을 소재로 만든 정전척 대비 내구성이 강하며 정전력도 향상시킬 수 있다고 설명했다.
또한 삼성전자ㆍ하이닉스 등에 반도체 정전척을 공급중인 코미코(대표 전선규)는 반도체 부문에 이어 LCD 장비용 정전척 부문에 진출하기 위해 준비중이다. 이 밖에 정부과제를 통해 반도체 정전척을 개발한 코리아세미텍(대표 이두로)은 삼성전자ㆍ하이닉스 등에 관련제품을 납품하고 있다.
엔트로피ㆍ프로메인 등 국내업체 속속 진입
그동안 국산화가 미흡했던 반도체 핵심 부품인 정전척(ESC) 시장에 국내 기업들이 속속 뛰어들며 국산화에 대한 기대감이 커지고 있다.
16일 관련업계에 따르면 코미코에 이어 엔트로피ㆍ프로메인ㆍ코리아세미텍(KST) 등이 반도체 공정용 핵심장비인 건식 식각장비(드라이에처) 등에 적용되는 부품인 정전척(ESC) 시장 진입에 적극 나서고 있다.
정전척은 반도체 식각장비 내부에서 정전기를 이용해 반도체 원판(웨이퍼)과 하부전극 사이의 간격을 일정하게 유지시켜주는 기능을 하는 고부가가치 소모성 부품이다. 정전척은 2년 정도를 주기로 교체해야 하는 필수 소모성 부품임에도 불구하고 국산화 비율이 23% 수준에 그치고 있다.
이에 따라 그동안 도쿄일렉트론ㆍ램리서치ㆍ어플라이드머티리얼 등 해외 유수 업체들로부터 수입에 의존했던 반도체 정전척 국산화에 국내 기업들이 적극 나섬으로써, 향후 관련시장에서 국내 기업들의 입김이 거세질 것으로 전망된다.
엔트로피(대표 김문환)는 내년 중 상용화를 목표로 최근 반도체 정전척 개발에 착수했다.
이 회사 김용삼 부사장은 "올 들어 LCD 장비용 정전척을 삼성전자ㆍLG필립스LCD 등에 활발하게 공급하고 있다"며 "LCD 정전척 부문에서 확보한 리더십을 바탕으로 반도체 장비용 정전척 사업에도 적극 나설 계획"이라고 설명했다.
나노기술 전문기업인 시노펙스 자회사로 편입된 프로메인(대표 우홍식)은 최근 신소재를 적용해 반도체 정전척을 개발하고 상용화에 나서고 있다고 밝혔다.
회사 측은 나노폴리머와 탄소를 합성해 반도체 정전척을 개발했으며, 이는 기존 세라믹 등을 소재로 만든 정전척 대비 내구성이 강하며 정전력도 향상시킬 수 있다고 설명했다.
또한 삼성전자ㆍ하이닉스 등에 반도체 정전척을 공급중인 코미코(대표 전선규)는 반도체 부문에 이어 LCD 장비용 정전척 부문에 진출하기 위해 준비중이다. 이 밖에 정부과제를 통해 반도체 정전척을 개발한 코리아세미텍(대표 이두로)은 삼성전자ㆍ하이닉스 등에 관련제품을 납품하고 있다.
