"½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ 1À§ µµÀü ¸ØÃßÁö ¸»ÀÚ" ÀÌÀç¿ë ºÎȸÀå, EUVÀü¿ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎ Á¡°Ë
ÀÔ·Â: 2020-02-20 20:15
¹ÚÁ¤ÀÏ ±âÀÚ
"±ä ¿©Á¤ ù´ÜÃß" ÀÓÁ÷¿ø °Ý·Á
Â÷¼¼´ë ÆÄ¿îµå¸®Á¦Ç° Áַ»ý»ê
Â÷¼¼´ë ÆÄ¿îµå¸®Á¦Ç° Áַ»ý»ê
[µðÁöÅПÀÓ½º ¹ÚÁ¤ÀÏ ±âÀÚ] ÀÌÀç¿ë(»çÁø)»ï¼ºÀüÀÚ ºÎȸÀåÀÌ ÀÌ´Þ ÃÊ º»°Ý °¡µ¿¿¡ µé¾î°£ EUV(±ØÀڿܼ±³ë±¤ÀåÄ¡) Àü¿ë ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎÀ» Á÷Á¢ ã¾Æ°¡ Á¡°ËÇß´Ù. ÀÌ ºÎȸÀåÀº "±ä ¿©Á¤ÀÇ Ã¹ ´ÜÃ߸¦ ³¢¿ü´Ù"¸ç, ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼¼°è 1À§ ¸ñÇ¥¸¦ ´Þ¼ºÇϱâ À§ÇØ µµÀüÀ» ¸ØÃßÁö ¸»¾ÆÁÙ °ÍÀ» Á÷¿øµé¿¡°Ô ´çºÎÇß´Ù.
20ÀÏ »ï¼ºÀüÀÚ¿¡ µû¸£¸é ÀÌ ºÎȸÀåÀº À̳¯ ȼº »ç¾÷ÀåÀ» ã¾Æ°¡ ÀÌ´ÞºÎÅÍ º»°Ý °¡µ¿À» ½ÃÀÛÇÑ EUV Àü¿ë 'V1' ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¶óÀÎÀ» Á÷Á¢ »ìÆ캸°í ÀÓÁ÷¿øµéÀ» °Ý·ÁÇß´Ù.
V1 ¶óÀÎÀº »ï¼ºÀüÀÚÀÇ Ã¹ EUV Àü¿ë ¶óÀÎÀ¸·Î ÃÖ±Ù º»°ÝÀûÀ¸·Î 7³ª³ë ÀÌÇÏ ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¿¡ µ¹ÀÔÇß°í, Â÷¼¼´ë ÆÄ¿îµå¸®(¹ÝµµÃ¼ À§Å¹»ý»ê) Á¦Ç°À» ÁÖ·ÂÀ¸·Î »ý»êÇÒ °èȹÀÌ´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÃÖ±Ù ¼öÁÖÇÑ °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁø Ä÷ÄÄÀÇ 5³ª³ë °øÁ¤ Â÷¼¼´ë 5G ¸ðµ© ¿ª½Ã ÀÌ ¶óÀο¡¼ »ý»êÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù.
EUV¶õ ÆÄÀåÀÌ ÂªÀº ±ØÀڿܼ± ±¤¿øÀ» »ç¿ëÇØ ¿þÀÌÆÛ¿¡ ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ±â¼ú·Î, ºÒȾƸ£°ï(ArF)À» ÀÌ¿ëÇÏ´Â ±âÁØ ±â¼úº¸´Ù ¼¼¹ÐÇÑ È¸·Î ±¸ÇöÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ȸ·Î ÆÐÅÏÀ» ±×¸®´Â °úÁ¤µµ ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ¾î ´õ È¿À²ÀûÀ¸·Î °í¼º´É¡¤ÀúÀü·Â ¹ÝµµÃ¼¸¦ ¸¸µé ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ ºÎȸÀåÀº ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ "Áö³ÇØ ¿ì¸®´Â ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼¼°è 1µîÀÇ ºñÀüÀ» ½É¾ú°í, ¿À´ÃÀº ±ä ¿©Á¤ÀÇ Ã¹ ´ÜÃ߸¦ ²ç¾ú´Ù"¸ç "ÀÌ°÷¿¡¼ ¸¸µå´Â ÀÛÀº ¹ÝµµÃ¼¿¡ Àηù»çȸ °øÇåÀ̶ó´Â ²ÞÀÌ ´ã±æ ¼ö ÀÖµµ·Ï µµÀüÀ» ¸ØÃßÁö ¸»ÀÚ"°í ¸»Çß´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â Áö³ÇØ 4¿ù ÀÌ ÀÚ¸®¿¡¼ ¹®ÀçÀÎ ´ëÅë·É µîÀÌ Âü¼®ÇÑ °¡¿îµ¥ '¹ÝµµÃ¼ ºñÀü 2030'À» ¹ßÇ¥Çß´Ù. 2030³â±îÁö ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼¿¡ 133Á¶¿ø(R&D 73Á¶¿ø, ÃÖ÷´Ü »ý»ê ÀÎÇÁ¶ó 60Á¶¿ø µî)À» ÅõÀÚÇÏ°í 1¸¸5000¸íÀ» ä¿ëÇÏ´Â µîÀÇ »ýÅ°è À°¼º Áö¿ø¹æ¾ÈÀÌ ´ã°ÜÀÖ´Ù.
À̹ø V1 ¶óÀÎ °¡µ¿Àº ½Ã½ºÅ۹ݵµÃ¼ ¼¼°è 1À§ ´Þ¼º ºñÀüÀ» Á¦½ÃÇÑ µÚ óÀ½ °ÅµÐ ¼º°ú¶ó´Â Á¡¿¡¼ Àǹ̰¡ ÀÖ´Ù. ¾÷°è¿¡¼´Â »ï¼ºÀüÀÚ°¡ ÁýÁß °ø·«ÇÒ ½ÃÀåÀ¸·Î ÆÄ¿îµå¸®¿Í À̹ÌÁö¼¾¼ µîÀ» ²Å°í ÀÖ´Ù.
ƯÈ÷ ÆÄ¿îµå¸®ÀÇ °æ¿ì ¾ÆÁ÷ ¾÷°è 1À§ÀÎ TSMC¿ÍÀÇ Â÷ÀÌ°¡ Å©Áö¸¸, ¸Þ¸ð¸®¹ÝµµÃ¼ µîÀ¸·Î ÃàÀûÇÑ ¹Ì¼¼°øÁ¤ °æÀï·Â¿¡¼´Â »ï¼ºÀüÀÚµµ ¹Ð¸®Áö ¾Ê°í ÀÖ´Ù. ½ÇÁ¦·Î 5³ª³ë °øÁ¤ÀÇ °æ¿ì »ï¼ºÀüÀÚ°¡ TSMCº¸´Ù »¡¶ú´Ù.
½ÃÀåÁ¶»ç¾÷ü Æ®·»µåÆ÷½º¿¡ µû¸£¸é ÀÛ³â 4ºÐ±â ÆÄ¿îµå¸® ½ÃÀå¿¡¼ TSMC°¡ 52.7%ÀÇ Á¡À¯À²·Î ºÎµ¿ÀÇ 1À§ ÀÚ¸®¸¦ ÁöÄ×°í, »ï¼ºÀÌ 17.8%·Î 2À§´Ù. ±×·¯³ª ¹Ì¡¤Áß ¹«¿ªÀüÀïÀÇ ºÒ¶ËÀÌ TSMC±îÁö ¹øÁö´Â Á¶ÁüÀÌ°í, ¿©±â¿¡ Äڷγª-19¿¡ µû¸¥ TSMCÀÇ »ý»ê Â÷Áú °¡´É¼ºµµ Á¦±âµÇ¸é¼ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ Á¡À¯À²À» Á¼Èú ±âȸ¸¦ ¾ò¾ú´Ù´Â ºÐ¼®ÀÌ ³ª¿Â´Ù.
»ï¼ºÀüÀÚ´Â ¸Å³â ¼¼°è ÁÖ¿ä ½ÃÀå¿¡¼ ÆÄ¿îµå¸® Æ÷·³À» °³ÃÖÇØ ±â¼ú °æÀï·ÂÀ» ¾Ë¸®´Â ÁßÀ̸ç, ±× °á°ú ÃÖ±Ù Ä÷ÄÄÀÇ 5G(5¼¼´ë À̵¿Åë½Å) 'X60' ¸ðµ©Ä¨ ÆÄ¿îµå¸®¸¦ ¼öÁÖÇÏ´Â µîÀÇ ¼º°ú¸¦ °ÅµÎ°í ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¾Ë·ÁÁ³´Ù.
¹ÚÁ¤ÀϱâÀÚ comja77@dt.co.kr
[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]