나노종기원-템퍼스, 체온계용 적외선 센서 개발
수율 높고, 감도도 우수해 미 FDA 승인 받아
국내 중소기업이 반도체 테스트베드 기관의 기술 지원을 받아 코로나19 방역에 필수적인 비접촉식 온도 센서 대량 양산에 성공했다.
나노종합기술원은 국내 센서 전문 기업인 템퍼스와 '비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서'를 양산 기술을 개발했다고 17일 밝혔다.
마이크로 적외선 센서는 서로 다른 두 금속의 접촉 부위에 대한 온도 차이에 의해 열기전력이 발생하는 원리를 이용해 인체 감지에 유리한 원적외선(8∼14㎛)을 검출하는 실시간 온도 측정센서다. 그동안 미국, 독일 등 해외 선진국이 사실상 독점하고 있었다.
템퍼스는 코로나19 방역을 위한 비접촉식 온도측정 수요가 폭증하면서 체욘계용 적외선 온도센서 대량 양산기술을 나노종기원과 함께 추진해 왔다.
이 센서는 주변의 모든 물체에서 방출되는 8∼14마이크로미터(㎛) 영역의 원적외선 파장을 검출해 실시간 온도를 확인할 수 있다. 특히 MEMS(미세기계전자시스템) 기반 공정에 CMOS(반도체 제조공정)를 접목해 생산성을 높였고, 경쟁사에 비해 감도가 3∼5배 우수하다.
현재 템퍼스는 500만개의 온도센서를 국내외 체온계 제작기업에 납품했으며, 온도센서와 독자 제작한 비접촉식 체온계는 미국 FDA(식품의약국)의 인증을 받아 미국 수출을 앞두고 있다.
앞서, 나노종기원은 지난 3월 트루윈에 자체 개발한 핵심 공정기술을 지원해 '적외선 열영상 센서' 상용화를 도왔다.
신백규 템퍼스 대표는 "1∼25㎛ 적외선 영역가지 검출할 수 있는 우리의 적외선 센서 기술력과 반도체 및 센서 공정기술 지원이 가능한 나노종기원의 협업을 통해 제품양산에 성공, 국내외 비접촉식 체온계 시장 공략에 나설 수 있게 됐다"고 말했다.
고서곤 과기정통부 기초원천연구정책관은 "센서는 물론 시스템반도체, 소재부품장비 기술자립 및 유망기업 육성을 위해 나노종기원과 같은 나노인프라 기관과 수요기업 간 연계와 지원을 강화해 나가겠다"고 말했다.이준기기자 bongchu@dt.co.kr
나노종합기술원과 템퍼스는 반도체 제조 공정을 활용해 수율이 높고, 가격 경쟁력이 우수한 '비접촉식 체온계용 마이크로 적외선 센서' 양산에 성공했다.
