µðÁöÅПÀÓ½º

 


»ï¼º¿¡ ASML±îÁö¡¦ È£Àç ¸¸¹ß `µ¿Åº2½Åµµ½Ã` ºÎµ¿»ê °ü½É ÁýÁß

ÇÁ¸°Æ® ÆäÀ̽ººÏ Æ®À§ÅÍ Ä«Ä«¿À½ºÅ丮
ASML, »ï¼ºÀüÀÚ¿Í ÇÔ²² µ¿Åº2½Åµµ½Ã¿¡ 1Á¶¿ø ÅõÀÚ, ¹ÝµµÃ¼ R&D °Ç¸³ ¾Ë·Á
GTX-A °³Åë, »ï¼º µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ ÅõÀÚ µî¿¡ ÀÌ¾î ¿¬ÀÌÀº È£Àç·Î °ü½É Ä¿Á®
»ï¼º¿¡ ASML±îÁö¡¦ È£Àç ¸¸¹ß `µ¿Åº2½Åµµ½Ã` ºÎµ¿»ê °ü½É ÁýÁß
Èú½ºÅ×ÀÌÆ® µ¿Åº ¸£¼¾ÅÒ Åõ½Ãµµ

µ¿Åº2½Åµµ½Ã ºÎµ¿»êÀÌ ¿¬ÀÌÀº È£Àç·Î ÈIJö ´Þ¾Æ¿À¸£°í ÀÖ´Ù.

È­¼º½Ã¿Í Çѱ¹ÅäÁöÁÖÅðø»ç(LH)¿¡ µû¸£¸é ASMLÀº LH¿Í µ¿Åº2½Åµµ½Ã 74ºí·Ï ÀÏ´ë 6ÇÊÁö ±Ô¸ðÀÇ ÅäÁö¸ÅÀÔ °è¾àÀ» ü°áÇß´Ù. ¸ÅÀÔ ´ë»ó ÅäÁö ¸éÀûÀº ¾à 1¸¸9000§³´Ù.

ASMLÀº ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ ¼¼°è 1À§ ±â¾÷À¸·Î, À̹ø ÅäÁö¸ÅÀÔÀ» ÅëÇØ µ¿Åº2½Åµµ½Ã¿¡ ¿¬±¸°³¹ß(R&D)¼¾Å͸¦ Áþ´Â´Ù. »ï¼ºÀüÀÚ¿Í °øµ¿À¸·Î ¾à 1Á¶¿øÀ» ÅõÀÚÇØ EUV È°¿ë Ãʹ̼¼ ¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶ °øÁ¤ ¿¬±¸°³¹ß Áö¿øÀ» À§ÇÑ ½Ã¼³À» °Ç¸³ÇÒ °èȹÀÌ´Ù.

ÀÌ·¯ÇÑ ASMLÀÇ µ¿Åº2½Åµµ½Ã ÅõÀÚ´Â 'È­¼º ´º Ä·ÆÛ½º'¿ÍÀÇ ½Ã³ÊÁö È¿°ú¸¦ °í·ÁÇÑ °ÍÀ¸·Î Ç®À̵ȴÙ.

½ÇÁ¦ ASMLÀº ÇöÀç µ¿Åº2½Åµµ½Ã 1¸¸6000§³ ºÎÁö¿¡ ÁöÇÏ 4Ãþ~Áö»ó 11Ãþ 2°³ µ¿ ±Ô¸ðÀÇ ´º Ä·ÆÛ½º¸¦ Á¶¼º ÁßÀ¸·Î, ÀÌ°÷¿¡ 2400¾ï¿øÀ» ÅõÀÚÇØ ±Û·Î¹ú Æ®·¹ÀÌ´× ¼¾ÅÍ µîÀ» °Ç¸³ÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.

ÇÑ ¾÷°è°ü°èÀÚ´Â "ÀÌ·¯ÇÑ ´ë±Ô¸ð ¹ÝµµÃ¼ °³¹ß È£Àç°¡ ¹ßÇ¥µÇÀÚ µ¿Åº2½Åµµ½Ã ºÎµ¿»êÀº °¡Ä¡ »ó½Â¿¡ ´ëÇÑ ±â´ë°¨À¸·Î °ü½ÉÀÌ ¶Ç ÇÑ ¹ø ÁýÁߵǴ ¸ð½À"À̶ó¸ç "ƯÈ÷ µ¿Åº2½Åµµ½Ã´Â À̹ø ASML ÅõÀÚ ¼Ò½Ä ¿Ü¿¡µµ ÃÖ±Ù ¼öµµ±Ç ºÎµ¿»êÀÇ ÇÙ½É Å°¿öµå·Î ¶°¿À¸¥ GTX, ¹ÝµµÃ¼, »ï¼º °ü·Ã °³¹ßÀÌ ¿¬À̾î À̾îÁö¸é¼­ À§»óÀ» ³ô¿©°¡°í ÀÖ¾î ¸Å¼ö¼¼°¡ Å©°Ô °­È­µÇ°í ÀÖ´Ù"°í ÀüÇß´Ù.

½ÇÁ¦ µ¿Åº2½Åµµ½Ã´Â ¿ÃÇØ »ó¹Ý±â GTX¿Í ¹ÝµµÃ¼, »ï¼º µî ÁÖ¿ä Å°¿öµå °ü·Ã °³¹ß ¼Ò½ÄÀÌ ¼Ó¼Ó ¾Ë·ÁÁö¸é¼­ °¡Ä¡¿Í À§»óÀÌ Å©°Ô »ó½ÂÇß´Ù.

¸ÕÀú Áö³­ 3¿ù 30ÀÏ¿¡´Â GTX-A ¼ö¼­~µ¿Åº ±¸°£ÀÌ °³ÅëÀ» ¾Ë¸®°í GTX½Ã´ë¸¦ º»°ÝÈ­Çß´Ù. ƯÈ÷ À̸¦ ÅëÇØ µ¿Åº¿ª¿¡¼­ ¼ö¼­¿ª±îÁö 19ºÐÀ̸é À̵¿ÀÌ °¡´ÉÇØÁ®, °­³²»ýÈ°±Ç ½Ã´ë°¡ Ȱ¦ ¿­¸®°Ô µÆ´Ù´Â °Ô ¾÷°èÀÇ Æò°¡´Ù. ¿©±â¿¡ Áö³­´Þ 29ÀÏ¿¡´Â ±¸¼º¿ª±îÁö Ãß°¡ °³ÅëµÇ¸é¼­, GTX-A ¼ö¼­~µ¿Åº ±¸°£ÀÌ ¿Ï¼ºµÆ´Ù. ÀÌ¿Ü¿¡µµ ¿ÃÇØ ¸» °³ÅëÀÌ ¿¹Á¤µÈ GTX-A ¿îÁ¤~¼­¿ï¿ª ±¸°£ µî ¼öµµ±Ç ½ÃÀå¿¡¼­ GTX¹ß ÆıÞÈ¿°ú´Â ´õ Ä¿Áú °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.

¶Ç »ó¹Ý±â¿¡´Â »ï¼ºSDS°¡ ±¹³» ÃÖÃÊ °í¼º´É ÄÄÇ»ÆÃ(HPC) Àü¿ë µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ·Î ¼±º¸ÀÎ µ¿Åº µ¥ÀÌÅͼ¾ÅÍ(DC)ÀÇ ½Ã¹ü ¿î¿µÀ» ¸¶Ä¡°í º»°ÝÀûÀÎ °¡µ¿À» ¾Ë·È´Ù. »ï¼ºSDS´Â ÀÌ°÷À» Áß½ÉÀ¸·Î ÇâÈÄ ¿¬±¸&°³¹ß°ú Ŭ¶ó¿ìµå »ç¾÷ÀÇ ÇÙ½É ¿ªÇÒÀ» ¼öÇàÇÑ´Ù´Â °èȹÀÌ´Ù.

»óȲÀÌ ÀÌ·¸ÀÚ, µ¿Åº2½Åµµ½Ã ºÎµ¿»êÀº ¿¬ÀÏ ¼ö¿äÀÚµéÀÇ ¹ß±æÀÌ À̾îÁö°í ÀÖ´Ù. ƯÈ÷ ¹Ì·¡°¡Ä¡¸¦ ¼±Á¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±âÁ¸ ºÐ¾ç ´ÜÁö¸¦ ã´Â ¹®ÀÇ°¡ Å©°Ô Áõ°¡Çß´Ù´Â °Ô Áö¿ª ºÎµ¿»ê °ü°èÀÚµéÀÇ Àü¾ðÀÌ´Ù.

´ëÇ¥ÀûÀ¸·Î´Â Çö´ë¿£Áö´Ï¾î¸µÀÌ µ¿ÅºÅ×Å©³ë¹ë¸®¿¡¼­ ¼±Âø¼ø °è¾àÀ» ÁøÇà ÁßÀÎ 'Èú½ºÅ×ÀÌÆ® µ¿Åº¸£¼¾ÅÒ' ÁÖ°ÅÇü¿ÀÇǽºÅÚÀÌ ÀÖ´Ù.

Èú½ºÅ×ÀÌÆ® µ¿Åº ¸£¼¾ÅÒ °ü°èÀÚ´Â "µ¿Åº2½Åµµ½ÃÀÇ ¹Ì·¡°¡Ä¡¸¦ ¼±Á¡ÇÏ·Á´Â ¼ö¿äÀÚµéÀÇ °ü½ÉÀÌ ²ÙÁØÇÏ°Ô À̾îÁö¸é¼­ °è¾à »ó´ã ¹®ÀÇ°¡ È°±â¸¦ ¶ì°í, ½ÇÁ¦ °è¾àµµ ¼øÁ¶·Ó°Ô ÁøÇàµÇ°í ÀÖ´Ù"¸ç "ƯÈ÷ ´ÜÁö´Â µ¿Åº2½Åµµ½Ã¿¡¼­µµ ¿ì¼öÇÑ ÀÔÁö¿¡ Á¶¼ºµÇ°í, ´Ù¾çÇÑ ÇýÅÃÀ¸·Î ÀÚ±Ý ºÎ´ãÀ» ³·Ãè´Ù´Â Á¡ÀÌ µ¿½Ã¿¡ ºÎ°¢µÅ °è¾à·üÀÌ ºü¸£°Ô ¿Ã¶ó°¡°í ÀÖ´Ù"°í ÀüÇß´Ù.

Èú½ºÅ×ÀÌÆ® µ¿Åº¸£¼¾ÅÒÀº ÁöÇÏ 2Ãþ~Áö»ó 24Ãþ ±Ô¸ð·Î ÁÖ°ÅÇü ¿ÀÇǽºÅÚ°ú ¿ÀÇǽº, »ó¾÷½Ã¼³ÀÌ ÇÔ²² ±¸¼ºµÇ´Â Áְź¹ÇÕ´ÜÁö´Ù. ÀÌÁß ÁÖ°ÅÇü ¿ÀÇǽºÅÚÀº ÃÑ 128½Ç·Î ¼ö¿äÀÚµéÀÇ ¼±È£µµ°¡ ³ôÀº Àü¿ë¸éÀû 84§³ À§ÁÖ·Î ±¸¼ºµÈ´Ù.

½ÇÁ¦ ´ÜÁö´Â µ¿Åº2½Åµµ½Ã¿¡¼­µµ ¶Ù¾î³­ ÀÔÁö¿©°ÇÀ» °®Ãè´Ù´Â Æò°¡´Ù. ƯÈ÷ µ¿Åº¿ª°ú ¾à 2km ¶³¾îÁø ÀÔÁö¿¡ À§Ä¡ÇØ GTX-A³ë¼±À» Æí¸®ÇÏ°Ô ÀÌ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀÌ °¡Àå Å« ÀåÁ¡À¸·Î, µ¿Åº¿ªÀº ¹Ù·Î ¾Õ ¹ö½ºÁ¤·ùÀåÀ» Áö³ª°¡´Â Áö¼±¹ö½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ¸é ºü¸£°Ô À̵¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¶Ç ¹Ù·Î ¾Õ ¹ö½ºÁ¤·ùÀå¿¡´Â °­³², Àá½Ç, ¼­¿ï¿ªÀ» ¿À°¡´Â ±¤¿ª¹ö½º°¡ Á¤Â÷ÇØ À̸¦ ÅëÇÑ ¼­¿ïÁ¢±Ù¼ºµµ ¿ì¼öÇÏ´Ù. ¿©±â¿¡ Àαٿ¡´Â µ¿ÅºÆ®·¥(2027³â ¿¹Á¤)°ú µ¿Åº~Àδö¿ø¼±(2029³â ¿¹Á¤)µµ Áö³ª°¥ ¿¹Á¤À̾ ÀÌ¿¡ µû¸¥ ¼öÇýµµ ´©¸± °ÍÀ¸·Î Àü¸ÁµÈ´Ù.

¿©±â¿¡ ¹Ù·Î ¿·¿¡´Â ¾à 7¸¸2000Æò ±Ô¸ðÀÇ ¼±³³½£°ø¿øÀÌ À§Ä¡ÇØ ¿µ±¸Á¶¸Á(ÀϺÎÈ£½Ç Á¦¿Ü)ÀÌ °¡´ÉÇϸç, ¹Ý¼®»ê ±Ù¸°°ø¿ø, µ¿Åº¿©¿ï°ø¿ø µîµµ Àαٿ¡ ÀÚ¸®ÇØ ÄèÀûÇÑ Èú¸µ ¶óÀÌÇÁ¸¦ ´©¸± ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ´Ãº½ÃÊ, ´Ù¿øÁß µîÀÌ µµº¸±Ç¿¡ À§Ä¡ÇØ ¾È½ÉÅëÇбǰú ¿ì¼öÇÑ ±³À°È¯°æÀ» °®ÃèÀ¸¸ç, Àαٿ¡´Â Çϳª·Î¸¶Æ®, À̸¶Æ®µ¿ÅºÁ¡, ·Ôµ¥¾Æ¿ï·¿, ÀÌÄɾÆ, ·Ôµ¥¹éÈ­Á¡ µî ¹®È­ ¹× ÆíÀǽü³µµ ÀÚ¸®ÇÏ°í ÀÖ´Ù.

ÀÌ¿Í ÇÔ²² Èú½ºÅ×ÀÌÆ® µ¿Åº¸£¼¾ÅÒÁÖ°ÅÇü ¿ÀÇǽºÅÚÀº ´Ù¾çÇÑ ±ÝÀ¶ÇýÅÃÀ» ÅëÇØ ¼ö¿äÀÚµéÀÇ ÀÚ±Ý ºÎ´ãµµ ÃÖ¼ÒÈ­ Çß´Ù. ¿ì¼± °è¾à±Ý 10%ÀÇ ±Ý¾×¿¡ ´ëÇØ 1, 2Â÷ ºÐ³³Á¦¸¦ Àû¿ëÇØ 1Â÷ °è¾à±Ý 500¸¸¿ø¸¸ ³»¸é °è¾à ü°áÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù. ¶Ç Áßµµ±Ý Àü¾× ¹«ÀÌÀÚ ÇýÅÃÀ» Á¦°øÇØ Ãʱâ ÀÚ±Ý ºÎ´ãÀº ÇÑ ¹ø ´õ ÁÙ¾îµé °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ.

ÇÑÆí Èú½ºÅ×ÀÌÆ® µ¿Åº ¸£¼¾ÅÒ ÁÖ°ÅÇü ¿ÀÇǽºÅÚÀÇ ¼±Âø¼ø °è¾àÀº °ßº»ÁÖÅà ÇöÀå¿¡¼­ ÁøÇà ÁßÀ̸ç, °ßº»ÁÖÅÃÀº °æ±âµµ È­¼º½Ã ¿µÃµµ¿ ÀÏ´ë¿¡ ¸¶·ÃµÅ ÀÖ´Ù. Á¤·¡¿¬±âÀÚ fodus0202@dt.co.kr







[ ÀúÀÛ±ÇÀÚ ¨ÏµðÁöÅПÀÓ½º, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö ]